從加工方法的機(jī)理、特點(diǎn)和傳統(tǒng)來(lái)分類，精密和超精密加工又可分為傳統(tǒng)加工、非傳統(tǒng)加工和復(fù)合加工。傳統(tǒng)加工是指刀具切削加工、固結(jié)磨料和游離磨料的磨削加工；非傳統(tǒng)加工是指利用電能、磁能、聲能、光能、化學(xué)能和核能等對(duì)材料進(jìn)行加工和處理；復(fù)合加工是采用多種加工方法的復(fù)合作用，進(jìn)行優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)，相輔相成。當(dāng)前，在制造業(yè)中，占主要地位的仍是傳統(tǒng)加工方法。  在加工精度的量級(jí)上，精密加工是指加工精度為1～0.1?μm，表面粗糙度為0.1～0.025μm的加工技術(shù)，超精密加工是指加工精度高于0.1?μm，表面粗糙度小于0.025?μm的加工技術(shù)。目前超精密加工已進(jìn)入納米級(jí)精度階段，故出現(xiàn)了納米加工及其相應(yīng)的技術(shù)?；诶硐肫桨咫娙菰碓O(shè)計(jì)研發(fā)的，被測(cè)物體與傳感器各自作為一個(gè)平板電極。

電容式非接觸式測(cè)微儀，通過(guò)電容測(cè)頭可以測(cè)量0-200μm范圍內(nèi)的微小位移，測(cè)量精度為納米級(jí)。測(cè)微儀由機(jī)箱與傳感模塊組成，可組成多測(cè)量通道數(shù)。

模塊化設(shè)計(jì)、自由組拼、高分辨率、模擬輸出、非接觸式測(cè)量。

它基于一個(gè)理想的平行板電容器原理，傳感器與相對(duì)面被測(cè)目標(biāo)形成的兩個(gè)電極，采用保護(hù)環(huán)電容器原理，用于測(cè)量任何金屬時(shí)，傳感器仍是線性的。