不相容的氣體在制備中的事故回顧與分析，以下是所知道的近年來(lái)發(fā)生的事故： 1996-中國(guó)臺(tái)灣，N2O/H2， 人員受傷，1997-加拿大，CO/Ai；1997-英國(guó)，CH4/Air ， 人員受傷；1997-南美，CH4/Air， 壓力表炸毀；1997-美國(guó)，4% H2/Air，隱患事故；2003-德國(guó)，N2O/CO，人員受傷；2004-法國(guó)，鹵代烴/Air ，隱患事故；2007-中國(guó)蘭州，CH4/Air， 人員受傷。以上事故中，多數(shù)是配制空氣中的可燃?xì)怏w，這類(lèi)氣體大多用在化工廠、煤礦中環(huán)境氣體的檢測(cè)中，事故的原因或者是錯(cuò)誤的操作；或者是不相容的氣體同時(shí)接入一個(gè)系統(tǒng)中，由于閥門(mén)漏氣產(chǎn)生倒灌；按其門(mén)類(lèi)可分為純氣、高純4_6m p-_4氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類(lèi)?；蛘呤菨舛扔?jì)算錯(cuò)誤；或者是錯(cuò)誤的充裝順序造成的。對(duì)氣體混合氣的事故分析，人們往往重視氣體的毒性而忽略了其可燃性。空氣中可燃性氣體的制備經(jīng)常發(fā)生，因此制定嚴(yán)格的操作程序是非常重要的。

什么是高純氣體？

改革開(kāi)放以來(lái)，隨著我國(guó)高新技術(shù)的快速發(fā)展，計(jì)算機(jī)工業(yè)對(duì)大規(guī)模集成電路與液晶顯示器的需求量增加；隨著新型能源的發(fā)展，我國(guó)大力開(kāi)拓了多晶硅太陽(yáng)能電池和薄膜太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)；此外，新型電光源、光電半導(dǎo)體器件、光纖通訊器件也過(guò)的迅猛發(fā)展，上述高新產(chǎn)品的生產(chǎn)中，都需要大量高純氣體，以制造出性能可靠的各種器件。什么是高純氣體？ O2混合氣體有兩種類(lèi)型：一種含O2量(體積分?jǐn)?shù))較低，為1％~5％，用于焊接不銹鋼。半導(dǎo)體集成電路所需要的高純氣體主要分為兩大類(lèi)：1、普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2、N2、O2、Ar、He等。2、特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、蝕刻用氣體等。

高純氣體必須滿足的條件

:1、主體成分含量必須大于某一定值。

2、各雜質(zhì)組分含量必須小于某一定值。 電子工業(yè)用氣、儀器儀表校準(zhǔn)用的零點(diǎn)氣、標(biāo)準(zhǔn)氣配制用氣、色譜載氣等均需滿足以上要求, 可列為高純氣體。理論上, 高純氣體的純度= 主體成分含量= 1-∑ 雜質(zhì)含量。事實(shí)上, 用實(shí)驗(yàn)方法直接準(zhǔn)確測(cè)定高純氣體中主體成分含量是非常困難的。既使象二氧化碳這類(lèi)產(chǎn)品, 可以通過(guò)規(guī)定的方法, 直接測(cè)定得到“純度值”, 但該值也包含有水分、酸性氣體及其它與強(qiáng)堿作用的成分。所以說(shuō), 該“純度”也并非理論意義上的氣體純度。氣體工業(yè)是國(guó)民經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)工業(yè)之一，覆蓋社會(huì)生產(chǎn)的各個(gè)領(lǐng)域，受益于國(guó)民生活，牽動(dòng)著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展。而另外一種通過(guò)測(cè)定氣體中所含有的所有雜質(zhì)成分, 計(jì)算求得氣體純度(理論純度) 的方法, 同樣難以實(shí)現(xiàn)。