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激光清洗的物理原理激光器發(fā)射的光束被需處理表面上的污染物層所吸收。大能量的吸收形成急劇膨脹的等離子體(高度電離的不穩(wěn)定氣體),產(chǎn)生沖擊波。沖擊波使污染物變成碎片并被剔除。
與機(jī)械摩擦清洗、化學(xué)腐蝕清洗、液體固體強(qiáng)力沖擊清洗、高頻超聲清洗等傳統(tǒng)清洗方法相比,激光清洗具有明顯的優(yōu)勢:
環(huán)保優(yōu)勢:激光清洗是一種“綠色”的清洗方法,不需使用任何化學(xué)藥劑和清洗液,清洗下來的廢料基本上都是固體粉末,體積小,易于存放,可回收,無光化學(xué)反應(yīng)、不會產(chǎn)生污染??梢暂p易解決化學(xué)清洗帶來的環(huán)境污染問題。往往一臺抽風(fēng)機(jī)即可解決清洗產(chǎn)生的廢料問題.
激光清洗技術(shù)的國外發(fā)展現(xiàn)狀
激光清洗技術(shù)研究起步于20世紀(jì)80年代中期,但直到20世紀(jì)90年代初期才真正步入工業(yè)生產(chǎn)中,在許多場合逐步取代傳統(tǒng)清洗方法。
國外激光清洗的去污范圍非常廣泛,從厚銹層到激光表面微細(xì)顆粒都可以去除,在去污中涉及激光清洗實驗所使用的設(shè)備種類也比較多,所用激光器的波長范圍廣,但激光清洗技術(shù)的發(fā)展不平衡,有些已實現(xiàn)工業(yè)化,有的還處于實驗室階段。
例如國外在激光模具的清洗方面,已經(jīng)發(fā)展到1000 W激光手動清洗機(jī);
電子線路清洗采用248 nm激光,3 W,20 ns,已經(jīng)工業(yè)化;
在芯片領(lǐng)域,采用248 nm,5 W納秒紫外清洗,效果非常好;
在光掩膜,采用紫外激光,已經(jīng)完全取代傳統(tǒng)化學(xué)方法;
在激光除銹、激光除污染物方面,已經(jīng)規(guī)?;瘧?yīng)用,而且實驗先于理論。另外在半導(dǎo)體領(lǐng)域、磁頭和絕緣體領(lǐng)域已經(jīng)開始實驗驗證。