質(zhì)量流量控制器簡介

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使用范圍： 質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。

特點：流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小。

質(zhì)量流量計的原理

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目前，國內(nèi)使用較為廣泛的是熱式氣體質(zhì)量流量計。

其原理如下：“在直徑較細(xì)的感應(yīng)管中放置兩對加熱器，并將其控制在同一溫度。當(dāng)流體流動時，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時，利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理，來測定流量?！保ǜ剑簈m=KCpA△T Cp定壓比熱容 A測量管繞組（即加熱系統(tǒng)）與周圍環(huán)境熱交換系統(tǒng)之間的熱傳導(dǎo)系數(shù)； K -------儀表常數(shù)）

質(zhì)量流量計概述

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主要特點

1. 適用多種介質(zhì)

2. 測量準(zhǔn)確度高

3. 無直管段要求

4. 可靠性好

5. 維修率低

6. 具有核心處理器

主要分類

質(zhì)量流量計可分為兩類：一類是直接式，即直接輸出質(zhì)量流量；另質(zhì)量流量計一類為間接式或推導(dǎo)式，如應(yīng)用超聲流量計和密度計組合，對它們的輸出再進行乘法運算以得出質(zhì)量流量。