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發(fā)布時間:2020-12-11 13:04  

金剛石線切割設(shè)備

金剛石線切割設(shè)備成為研究和發(fā)展的主流趨勢,本文介紹國外硅片切割設(shè)備研究的新進(jìn)展以及國內(nèi)發(fā)展?fàn)顩r,并介紹筆者參與研制的金剛石環(huán)形線鋸機(jī)的功能、特點(diǎn)和設(shè)計(jì)心得體會及金剛石單線和環(huán)線切割機(jī)應(yīng)用前景展望。

目前,硬脆性材料,如單晶硅、多晶硅、寶石、玻璃、陶瓷等,具有優(yōu)良、穩(wěn)定的物理和化學(xué)性能(如抗腐蝕性、電絕緣性,耐磨損性等),在電子、光學(xué)及其它領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用、,特別是單晶硅、多晶硅、陶瓷材料被廣泛用于太陽能光伏產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體、真空電鍍等高精端產(chǎn)業(yè)中。伴隨半導(dǎo)體、光伏材料技術(shù)的發(fā)展,需求量不斷增加,切割加工量大幅增長,由于硬脆材料硬度高、脆性大,因此加工難度較大。目前,行業(yè)內(nèi)硅片生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行金鋼線切割技術(shù)升級改造的方案主要有兩種:1,,即在現(xiàn)有的傳統(tǒng)砂漿線設(shè)備基礎(chǔ)上,通過對設(shè)備內(nèi)部軟硬件進(jìn)行升級改造,從而滿足金鋼線切割工藝。




線切割設(shè)備

切割液 

金剛線切割設(shè)備使用的切割液主要作用是冷卻,所以主要采取冷卻水或油基冷卻。使用水做切割液可以混合部分粘合劑,減輕清洗工序工作強(qiáng)度;樹脂結(jié)合劑金剛石鋸線是一種采用樹脂作為結(jié)合劑,將金剛石磨粒固結(jié)于鋸絲基體表面而形成的固結(jié)磨料鋸線。另一個作用是切損硅料容易回收。油基冷卻主要是乙二醇做切割液,原理上乙二醇基的切割方法也有助于硅料的回收,但是需要相對復(fù)雜的化學(xué)方法處理,提高了回收成本。

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線鋸切割機(jī)

單線切割的金剛石線鋸分為往復(fù)式金剛石線鋸和環(huán)形回轉(zhuǎn)式金剛石線鋸;

環(huán)形回轉(zhuǎn)式線鋸是被焊接為環(huán)形,可通過導(dǎo)輪實(shí)現(xiàn)循環(huán)切割。

優(yōu)點(diǎn):1.整個鋸絲長度均可參與切割;

2.使用壽命長;

3.切割速度高(高達(dá)10——60m/s)。


單線往復(fù)式金剛石線鋸切割機(jī)的優(yōu)點(diǎn)是:結(jié)構(gòu)簡單,適應(yīng)性好,可進(jìn)行內(nèi)外表面的切割加工;可以自由改變切割方向及傾斜角度,進(jìn)行復(fù)雜輪廓切割。缺點(diǎn)是鋸絲的有效工作強(qiáng)度受限制,鋸絲利用率不高,切割速度較低(一般2—3m/s)。



磁性材料切割

     強(qiáng)磁鐵不僅性能優(yōu)異,而且原料豐富,價格還比較低,還是利用磁性材料價格形成的釹鐵硼磁鐵。很符合當(dāng)代發(fā)展迅速和廣泛使用,主要是用在電器、儀器、石油化工、磁療保健、汽車行業(yè)等領(lǐng)域。

??釹鐵硼通俗的講叫磁鐵(也有人叫它吸鐵石)是在常溫下不會削磁的一種磁性材料故也叫永磁鐵。其切割過程中容易出現(xiàn)黏刀的現(xiàn)象,用金剛石刀片切割速度極慢,環(huán)形金剛石線鋸的出現(xiàn),解決了粘性的問題,設(shè)備簡單,造價低,收到磁性材料切割市場的極大認(rèn)可。


     


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