凈化工程中的特點

     眾所周知，工廠選址、總平面設(shè)計、車間布局、設(shè)備選擇以及生產(chǎn)和產(chǎn)品質(zhì)量的管理等這些“大問題”都是生產(chǎn)企業(yè)保障生產(chǎn)環(huán)境達到潔凈標(biāo)準(zhǔn)，防止污染與交叉污染等要求的重要措施。但是，在潔凈工程的設(shè)計和實施中，有一些細(xì)節(jié)也需要下工夫做足文章，否則很可能“千里之堤，潰于蟻穴”，花費巨大財力和精力建成的工程會因為一個風(fēng)管的不合適或者人員的走動而達不到預(yù)期效果，影響產(chǎn)品質(zhì)量。但值得注意的是，對于空氣凈化的這個領(lǐng)域，當(dāng)臭氧的濃度超過一定范圍時將表現(xiàn)出強烈的刺激性，對人體有一定的危害。

空調(diào)凈化是能耗大戶，設(shè)計與施工中需關(guān)注節(jié)能措施。在設(shè)計中，系統(tǒng)及區(qū)域的劃分，送風(fēng)量計算，溫度與相對溫度的確定，潔凈級別與換氣次數(shù)的確定，新風(fēng)比，風(fēng)管保溫，風(fēng)管制作中的咬口形式對漏風(fēng)率的影響，干管支管連接角度對氣流阻力的影響，法蘭連接是否漏風(fēng)等以及空調(diào)箱、風(fēng)機、冷水機組等設(shè)備選擇無一不與能耗有關(guān)，所以，這些細(xì)節(jié)必須要考慮到。食品、醫(yī)1療1器1械、生物制對潔凈度要求不高，但是對沉降菌、浮游菌控制及其嚴(yán)格。

光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料

1、凈化廠房墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強，圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。

2、地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高1級耐磨塑

3、送回風(fēng)管道用熱鍍鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

4、高1效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

FFU具有的特點：

第yi，靈活性：因為FFU是自帶動力的，它不受區(qū)域的限制，在一個偌大的無塵廠房里可根據(jù)要求，分區(qū)控制，而且，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)的調(diào)整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會帶來二次投資。

第二，可再利用性，從理論上講，一時不用的FFU設(shè)備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。

第三，負(fù)壓通風(fēng)，這是FFU的獨特特點，由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對于無塵廠房負(fù)壓，這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)內(nèi)，使得密封變得很簡單而且安全。

第四，縮短建設(shè)周期，使用FFU省掉了風(fēng)箱的制作和安裝，因為風(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。

第五，減少運行成本，雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但在它后期運行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能，免維護等特點，用大循環(huán)減少40%的運行成本。

超凈工作臺應(yīng)用

4.2.1 根據(jù)環(huán)境的潔凈程度，可定期（一般2～3個月）將粗濾布（滌綸無紡布）拆下清洗或給予更換。

4.2.2 定期（一般為一周）對環(huán)境周圍進行滅菌工作，同時經(jīng)常用紗布沾酒精或丙1酮等有1機1溶1劑將紫外線殺菌燈表面擦干凈，保持表面清潔，否則會影響殺菌效果。

4.2.3 當(dāng)加大風(fēng)機電壓已不能使風(fēng)速達到0.32m/s時必須更換高1效空氣過濾器。

4.2.4 更換過濾器時，可打開頂蓋，更換時應(yīng)注意過濾器上的箭頭標(biāo)志，箭頭指向即為層流氣流向。

4.2.5 更換高1效過濾器后，應(yīng)用Y09-4型塵埃粒子計數(shù)器四周邊框密封是否良好，調(diào)節(jié)風(fēng)機電壓，使操作區(qū)平均風(fēng)速保持在0.32-0.48m/s范圍內(nèi)，再用Y09-4型塵埃粒子計數(shù)器檢查潔凈度。