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凈化工程中使用慣性除塵器進行一級除塵
凈化工程中使用的慣性除塵器 為了改善重力沉降室的除塵效果,可在其中設(shè)置各種形式擋板.利用塵粒的慣性使其和擋板發(fā)生碰撞而捕集,這種除塵器稱為慣性除塵器。慣性除塵器的結(jié)構(gòu)形式分為碰撞式和回轉(zhuǎn)式兩類。氣流在掩擊或方向轉(zhuǎn)變前速度愈高,方向轉(zhuǎn)變的曲率半徑愈小,則除塵效率愈高。但值得注意的是,對于空氣凈化的這個領(lǐng)域,當臭氧的濃度超過一定范圍時將表現(xiàn)出強烈的刺激性,對人體有一定的危害。
百葉窗式分離器也是一種慣性除塵器。含塵氣流進人錐形的百葉窗分離器后,大部分氣體從柵條之間縫隙流出。氣流繞出柵條時突然改變方向,塵粒由于自身的慣性繼續(xù)保持直線運動.隨部分氣流(約5一20%)一起進入下部灰斗,在重力和慣性力作用下,塵拉在灰斗中分離。百葉窗分離器的主要優(yōu)點是外形尺寸小.阻力比旋風除塵器小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。
慣性除塵器主要用于捕集20~30μm以上的粗大塵粒,常用作凈化工程中多級除塵器的di一級除塵。
什么是空氣凈化工程?
空氣凈化工程按原理分為亂流潔凈室和層流潔凈室;按使用分為工業(yè)凈化工程,生物凈化工程;
空氣凈化程是一整套體系,潔凈廠房規(guī)劃和檢驗標準里就有闡明.大致包含潔凈室修建裝飾體系,凈化空調(diào)體系,水體系、電體系、氣體系等,對潔凈室內(nèi)的溫度、濕度、照度、潔凈度、靜電現(xiàn)象進行管控,然后到達特定的技能要求.
什么是凈化工程?
凈化工程是指將必定空氣范圍內(nèi)空氣中的微粒子,有害空氣,細1菌等污染物掃除,并將室內(nèi)的溫度,潔凈度,室內(nèi)壓力,氣流速度于氣流散布,噪音轟動及照明,靜電控制在某一需要范圍內(nèi),這么的一個進程叫凈化工程.
什么是無塵車間凈化工程?
無塵車間工程 主要包括無塵車間設(shè)計、施工和運行管理前后相關(guān)的三個環(huán)節(jié)。質(zhì)量源于設(shè)計,設(shè)計是核心。而凈化工程的施工又區(qū)別于一般的建筑工程,包括圍護結(jié)構(gòu)(俗稱房中房);空 無塵車間工程主要包括無塵車間設(shè)計、施工和運行管理前后相關(guān)的三個環(huán)節(jié)。質(zhì)量源于設(shè)計,設(shè)計是核心。而凈化工程的施工又區(qū)別于一般的建筑工程,包括圍護結(jié)構(gòu)(俗稱“房中房”);空調(diào)凈化系統(tǒng);供電、自控、弱電系統(tǒng);純水、特氣、物料供應系統(tǒng);3、高1效送風口中的四件套包括,高1效送風口靜壓箱體,法蘭,高1效過濾器以及出風口散流板。廢氣、廢水處理系統(tǒng)及相關(guān)設(shè)施。運行管理包括:實時檢測,人員培訓,設(shè)備維護,以保證受控的生產(chǎn)科研環(huán)境持續(xù)符合要求。三個環(huán)節(jié)涵蓋了空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)三個占有狀態(tài);環(huán)境受控又融合了風險評估、生產(chǎn)認證的概念和程序;加之潔凈技術(shù)跨行業(yè)、跨專業(yè)、跨學科的特點:使之無塵車間工程的難度和復雜性增加。因此對于無塵車間工程行業(yè)來說,優(yōu)化設(shè)計、現(xiàn)場施工環(huán)境的協(xié)調(diào)與管控、工程相關(guān)技術(shù)細節(jié)的經(jīng)驗積累,對客戶需求的理解和實現(xiàn),以及對設(shè)計變更的準備和響應程度等都是衡量無塵車間施工團隊能力的重要指標。
?潔凈室中的溫濕度控制
濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)jia溫度范圍為35—45%。風管制作前用中性洗滌劑去油污,制作過程中防止劃傷,制作結(jié)束用白綢布揩擦內(nèi)表面應無任何油污、灰跡為清洗合格。