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真空磁控陰極濺射法:平板玻璃在具有高真空的真空腔體內(nèi),處在負(fù)電壓的兩極間的工作氣體正離子在正交電磁場的作用下飛向陰極,在很短的陰極位降區(qū)內(nèi)獲得很大的能量去迅速轟擊靶材,從而使陰極(靶材)原子飛向玻璃基片--玻璃沉積膜層,濺射出的二次電子(此過程稱γ過程)在電磁場作用下按旋輪線運(yùn)動參與碰撞電離,蟹衍載流子,這樣就能源源不斷地轟擊陰極,提供足夠數(shù)量的正離子,形成的等離子區(qū)使持續(xù)輝光放電,其可以一次完成多層鍍膜,有著的膜層均勻性,的邊緣復(fù)蓋和良好的附著力。鍍膜有著優(yōu)于和區(qū)別于其它真空磁控濺射鍍膜機(jī)的地方是:它的平面磁控靶上的磁場是由環(huán)形磁鐵產(chǎn)生的,可將半園環(huán)形磁鐵看成是無限T微扇柱狀磁鐵的組合 。眾所周知,在某些材料的表面上,只要鍍上一層薄膜,就能使材料具有許多新的、良好的物理和化學(xué)性能。所以,其相應(yīng)點(diǎn)磁標(biāo)勢較穩(wěn)定,才能生產(chǎn)出均勻牢固的鍍膜層。
鍍膜是用物理或化學(xué)的方法在材料表面鍍上一層透明的電解質(zhì)膜,或鍍一層金屬膜,目的是改變材料表面的反射和透射特性。光學(xué)鍍膜是在光學(xué)干涉原理,在可見光和紅外線波段范圍內(nèi),使反射率在78-98%之間,以達(dá)到透光率,光學(xué)鍍膜技術(shù)一直是光學(xué)領(lǐng)域中不可忽略的重要基礎(chǔ)技術(shù)。在建立緊密合作型研發(fā)創(chuàng)新公私伙伴關(guān)系(PPP)的同時(shí),將長期致力于功能金屬氧化物薄膜材料的研制開發(fā)及商業(yè)化推廣應(yīng)用。
在我們的日常生活中,光學(xué)鍍膜隨處可見,如平時(shí)戴的眼鏡、數(shù)碼相機(jī)、各式家電用品,或者是上的防偽技術(shù),領(lǐng)域的各種設(shè)備、軍事領(lǐng)域的等等。普遍的是在太陽光下看手機(jī)屏的字,由于反射光透不強(qiáng),屏幕模糊,這需要屏幕的光學(xué)鍍膜來達(dá)到透射清晰效果。
鍍材范圍廣,由于濺射鍍膜是通過離子的高速轟擊使鍍材濺射出來的,當(dāng)然這個厚度是在可允許的范圍內(nèi),而且控制好電流,無論重復(fù)鍍多少次,膜層厚度都不會變化,膜厚的穩(wěn)定性可歸結(jié)為膜厚良好的可控性和重復(fù)性。不像五金電鍍加工由于熔點(diǎn)的原因而限制只能使用熔點(diǎn)比較低的鍍材,而濺射鍍膜固體的物質(zhì)都可以成為鍍材。帶鋼真空鍍膜總的來說仍處在發(fā)展的初級階段,在帶鋼表面處理中所占份額目前還遠(yuǎn)不能與熱浸鍍、電鍍相比。
高真空離子鍍是常見的塑膠產(chǎn)品電鍍技術(shù)中的目前市場新興興起的一種技術(shù)。高真空離子鍍,又稱高真空鍍膜加工。Parylene具有優(yōu)異的尺寸穩(wěn)定性和低溫性能,在幾乎不改變器件尺寸的情況下提供1。如今高真空電鍍的做法現(xiàn)在是一種相來說比較盛行的一種做法,做出來的商品金屬質(zhì)感強(qiáng),表面亮度高.而相對別的的鍍膜法來說,成本較低,對環(huán)境的污染小,可選擇原料種類多,這也是近年來一些電鍍加工廠比較推崇的鍍膜電鍍技術(shù)。