氣體流量控制器

測(cè)量管道內(nèi)質(zhì)量流量的流量測(cè)量?jī)x表。在被測(cè)流體處于壓力、溫度等參數(shù)變化很大的條件下，若僅測(cè)量體積流量，則會(huì)因?yàn)榱黧w密度的變化帶來(lái)很大的測(cè)量誤差。在容積式和差壓式流量計(jì)中，被測(cè)流體的密度可能變化30%，這會(huì)使流量產(chǎn)生30～40%的誤差。隨著自動(dòng)化水平的提高，許多生產(chǎn)過(guò)程都對(duì)流量測(cè)量提出了新的要求?；瘜W(xué)反應(yīng)過(guò)程是受原料的質(zhì)量(而不是體積)控制的。蒸氣、空氣流的加熱、冷卻效應(yīng)也是與質(zhì)量流量成比例的。

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常見(jiàn)類型

1. 容積式流量計(jì)，又稱定排量流量計(jì)。它利用機(jī)械測(cè)量元件把流體連續(xù)不斷的分割成單個(gè)已知的體積部分，根據(jù)測(cè)量室逐次重復(fù)的充滿和排放該體積部分流體的次數(shù)來(lái)測(cè)量流體體積流量。

2.浮子式流量計(jì)，又稱轉(zhuǎn)子流量計(jì)，是變面積式流量計(jì)的一種，在一根由下向上擴(kuò)大的垂直錐管中，圓形橫截面的浮子的重力是由液體動(dòng)力承受的，從而使浮子可以在錐管中自由的上升和下降。

3. 差圧式流量計(jì) ，是根據(jù)安裝于管道中流量檢測(cè)件產(chǎn)生的差壓，已知的流體的條件和檢測(cè)間與管道的尺寸來(lái)計(jì)算流量的儀表。

4. 渦街流量計(jì)，在流體中安放一根非流線型游渦發(fā)生體，流體在發(fā)生體兩側(cè)交替的分離釋放出兩串規(guī)則地交錯(cuò)排列的游渦的儀表。

5. 渦輪流量計(jì)，是速度式流量計(jì)中的主要種類，它采用多葉片的轉(zhuǎn)子（渦輪）感受流體平均流速，從而推導(dǎo)出流量或總量的儀表。

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發(fā)展歷史

17世紀(jì)托里拆利奠定差壓式流量計(jì)的理論基礎(chǔ)，這是流量測(cè)量的里程碑。流量測(cè)量的發(fā)展可追溯到古代的水利工程和城市供水系統(tǒng)。凱撒時(shí)代已采用孔板測(cè)量居民的飲用水水量。公元前1000年左右古埃及用堰法測(cè)量尼羅河的流量。我國(guó)都江堰水利工程應(yīng)用寶瓶口的水位觀測(cè)水量大小等等。如堰、示蹤法、皮托管、文丘里管、容積、渦輪及靶式流量計(jì)等。自那以后，18、19世紀(jì)流量測(cè)量的許多類型儀表的雛形開始形成，如堰、示蹤法、皮托管、文丘里管、容積、渦輪及廈門華世通靶式流量計(jì)等。20世紀(jì)由于過(guò)程工業(yè)、能量計(jì)量、城市公用事業(yè)對(duì)流量測(cè)量的需求急劇增長(zhǎng)，才促使儀表迅速發(fā)展，微電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的飛躍發(fā)展推動(dòng)儀表更新?lián)Q代，新型流量計(jì)如雨后春筍般涌現(xiàn)出來(lái)，現(xiàn)場(chǎng)使用中許多棘手的難題可望獲得解決。我國(guó)開展近代流量測(cè)量技術(shù)的工作比較晚，早期所需的流量?jī)x表均從國(guó)外進(jìn)口。流量測(cè)量是研究物質(zhì)量變的科學(xué)，質(zhì)量互變規(guī)律是事物聯(lián)系發(fā)展的基本規(guī)律，因此其測(cè)量對(duì)象已不限于傳統(tǒng)意義上的管道液體，凡需掌握量變的地方都有流量測(cè)量的問(wèn)題。流量和壓力、溫度并列為三大檢測(cè)參數(shù)。對(duì)于一定的流體，只要知道這三個(gè)參數(shù)就可計(jì)算其具有的能量，在能量轉(zhuǎn)換的測(cè)量中必須檢測(cè)此三個(gè)參數(shù)。能量轉(zhuǎn)換是一切生產(chǎn)過(guò)程和科學(xué)實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)，因此流量和壓力、溫度儀表一樣得到廣泛的應(yīng)用

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氣體流量控制器的選擇

例，真空等離子清洗機(jī)的流量控制器選擇

工藝氣體流量的穩(wěn)定性，會(huì)影響工業(yè)型真空等離子清洗機(jī)的處理效果，大多數(shù)工藝都對(duì)氣體流量控制要求非常嚴(yán)格，所以工業(yè)型真空等離子清洗機(jī)都是選用質(zhì)量流量控制器來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝氣體流量的控制。在工業(yè)型真空等離子清洗機(jī)實(shí)際使用過(guò)程中，不同的工藝要求，需要選用不同流量控制范圍的質(zhì)量流量控制器，真空等離子清洗機(jī)常用的流量控制范圍通常在0~50SCCM、0~500SCCM之間，部分大型真空等離子清洗機(jī)也會(huì)用到0~1SLM規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。

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