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由于無(wú)塵車間是密閉性很強(qiáng)的建筑,其安全疏散成為非常重要和突出的問(wèn)題,和凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)置也有密切關(guān)系。一般應(yīng)注意以下幾點(diǎn):
1、每一生產(chǎn)層防火區(qū)或潔凈區(qū)至少設(shè)2個(gè)安全出口,只有面積小于50㎡,人員少于5人時(shí),可允許只設(shè)一個(gè)安全出口。
凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時(shí),應(yīng)選用管狀電加熱器,位置應(yīng)布置在空氣過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè),并應(yīng)有防火安全措施。
送風(fēng)機(jī)可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇,中效、空氣過(guò)濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計(jì)算。
凈化車間的主要功能有那些
按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。無(wú)菌操作區(qū)的操作人員按照程序更衣,再經(jīng)無(wú)菌操作區(qū)人員緩沖室進(jìn)入無(wú)菌操作區(qū)。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非0.1沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,凈化車間無(wú)塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。無(wú)菌操作區(qū)內(nèi)人員應(yīng)保持雙手衛(wèi)生,人員的指甲修剪整齊并保持清潔。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
所謂無(wú)塵并非0.1沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。應(yīng)該引起注意的是:無(wú)塵車間并非越大越好,面積和空間的大小關(guān)系著送風(fēng)量的多少,決定著空調(diào)能耗的大小,影響工程的投資。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,凈化車間無(wú)塵是必然的要求。