高純氣體如何安全供氣？為防止倒流回火應(yīng)在用氣設(shè)備的支管上設(shè)置阻火器，在排入大氣的排氣管道上，為防止排氣時(shí)突遇雷電阻止火焰蔓延至可燃?xì)怏w管道引發(fā)燃燒事故，必須在排氣管道上設(shè)置阻火器。6月16日，特種氣體入選國(guó)家《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄（2017年版）》。可燃?xì)怏w在適當(dāng)?shù)墓艿捞帒?yīng)做接地，但接地電阻應(yīng)符合相關(guān)規(guī)定。各種可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)均應(yīng)設(shè)置能引入氮?dú)獾榷栊詺怏w的接口及相應(yīng)的檢測(cè)口，以便在可燃?xì)怏w供應(yīng)系統(tǒng)使用前后或檢修動(dòng)火前后對(duì)其系統(tǒng)進(jìn)行吹掃置換，但是惰性氣體吹掃接口在正常運(yùn)行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通，以避免影響氣體質(zhì)量。

石化用特種氣體安全貯運(yùn)：氣瓶露天使用時(shí)應(yīng)加以防護(hù), 防止生銹和侵蝕, 庫(kù)存瓶要定期檢查, 色標(biāo)、合格證、泄漏等如不清楚、有疑問(wèn), 應(yīng)及時(shí)和廠家聯(lián)系, 分析確認(rèn)后才可使用。焊接大厚度鋁及鋁合金時(shí)，采用Ar He混合氣體可改善焊縫熔深、減少氣孔和提高生產(chǎn)率。有專(zhuān)人負(fù)責(zé)管理, 驗(yàn)收核實(shí), 登記發(fā)放做到有帳可查，不管是倉(cāng)庫(kù)還是使用場(chǎng)所, 空瓶與實(shí)瓶都應(yīng)分開(kāi)放置, 并有明顯標(biāo)志。毒性氣體氣瓶和瓶?jī)?nèi)氣體相互接觸能引起燃燒， 產(chǎn)生毒物的氣瓶應(yīng)分室存放, 并在附近設(shè)置防毒用具、滅火器材。另外氣體采購(gòu)計(jì)劃按生產(chǎn)需要的實(shí)際情況盡量做到現(xiàn)購(gòu)現(xiàn)用, 以防止使用過(guò)期鋼瓶, 同時(shí)可減少很多不安全因素。

在半導(dǎo)體體行業(yè)線寬越做越小，其對(duì)氣體純度、顆粒度、雜質(zhì)含量的要求也越來(lái)越高。氣體島（氣化島）根據(jù)服務(wù)群體規(guī)模分為企業(yè)級(jí)和園區(qū)級(jí)，根據(jù)供氣成分分為合成氣型（CO H2、H2、CO）和工業(yè)燃?xì)庑?，依?jù)服務(wù)行業(yè)又可分為化工型（煉油/煤化工/其它化工等）和其他工業(yè)型（陶瓷/建材/水泥等）。線寬下對(duì)超純氮?dú)獾囊螅?strong>高純氮?dú)?/strong>（PN2）：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光（EP）低碳（316L）不銹鋼管，閥門(mén)采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。（N2）：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光（EP）低碳（316L）不銹鋼管或光亮退火（BA）低碳（316L）不銹鋼管，閥門(mén)采用相同材質(zhì)的波紋管閥或球閥。