真空機組將前級泵中的工作液改為油時，可以有效地提高羅茨真空機組的極限真空度（見參數表），羅茨油環(huán)機組為閉路循環(huán)系統(tǒng)，可減少污染，節(jié)約水源。羅茨油環(huán)真空機組廣泛應用于真空浸漬、真空干燥、真空除氣等工藝中。

真空機組選用水環(huán)泵作為前級泵比其它真空泵更為有利，這主要是由于它能夠抽除大量的可凝性蒸汽，特別是當氣鎮(zhèn)油封機械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠，或使用的溶劑能使泵油惡化而影響性能，或者是真空系統(tǒng)不允許油污染的時候更為明顯。在選擇真空機組時，一般需要真空機組的極限真空度要高于工作真空度半個到一個數量級以上才能達到使用要求，即工作壓力≥極限壓力×（5~10）為宜。那是因為真空泵碳片是有石墨材料制作而成的，所以真空泵碳片又可簡稱為石墨碳片。