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光刻膠市場(chǎng)
我國(guó)光刻膠市場(chǎng)規(guī)模2015年已達(dá)51.7億元,同比增長(zhǎng)11%,高于國(guó)際市場(chǎng)增速,但全球占比仍不足15%,發(fā)展空間巨大。2015年我國(guó)光刻膠產(chǎn)量為9.75萬(wàn)噸,而需求量為10.12萬(wàn)噸,依照需求量及產(chǎn)量增速預(yù)計(jì),未來(lái)仍將保持供不應(yīng)求的局面。據(jù)智研咨詢(xún)估計(jì),得益于我國(guó)平面顯示和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,我國(guó)光刻膠市場(chǎng)需求,在2022年可能突破27.2萬(wàn)噸。據(jù)悉,經(jīng)過(guò)項(xiàng)目組全體成員的努力攻關(guān),完成了EUV光刻膠關(guān)鍵材料的設(shè)計(jì)、制備和合成工藝研究、配方組成和光刻膠制備、實(shí)驗(yàn)室光刻膠性能的初步評(píng)價(jià)裝備的研發(fā),達(dá)到了任務(wù)書(shū)中規(guī)定的材料和裝備的考核指標(biāo)。在光刻膠生產(chǎn)種類(lèi)上,我國(guó)光刻膠廠商主要生產(chǎn)PCB光刻膠,而LCD光刻膠和半導(dǎo)體光刻膠生產(chǎn)規(guī)模較小,相關(guān)光刻膠主要依賴(lài)進(jìn)口。放眼國(guó)際市場(chǎng),光刻膠也主要被美國(guó)Futurrex 的光刻膠、日本合成橡膠(JSR)、東京應(yīng)化(TOK)、住友化學(xué)、美國(guó)杜邦、德國(guó)巴斯夫等化工寡頭壟斷。
PCB穩(wěn)定
PCB被譽(yù)為'電子產(chǎn)品',廣泛應(yīng)用于各個(gè)電子終端。2016年,全球PCB市場(chǎng)規(guī)模達(dá)542.1億美元。國(guó)外研究機(jī)構(gòu)預(yù)測(cè),PCB市場(chǎng)年復(fù)合增長(zhǎng)率可達(dá)3%,到2020年,PCB全球市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到610億美元;中國(guó)在2020年P(guān)CB產(chǎn)值有望達(dá)到311億美元,在2015-2020年期間,年復(fù)合增長(zhǎng)率略高于國(guó)際市場(chǎng),為3.5%。2.請(qǐng)問(wèn)有沒(méi)有可以替代goodpr1518,Micropure去膠液和goodpr顯影液的產(chǎn)品。得益于PCB行業(yè)發(fā)展剛需,我國(guó)PCB光刻膠需求空間巨大。
芯片光刻的流程詳解(一)
在集成電路的制造過(guò)程中,有一個(gè)重要的環(huán)節(jié)——光刻,正因?yàn)橛辛怂?,我們才能在微小的芯片上?shí)現(xiàn)功能?,F(xiàn)代刻劃技術(shù)可以追溯到190年以前,1822年法國(guó)人Nicephore niepce在各種材料光照實(shí)驗(yàn)以后,開(kāi)始試圖復(fù)一種刻蝕在油紙上的印痕(圖案),他將油紙放在一塊玻璃片上,玻片上涂有溶解在植物油中的瀝青。經(jīng)過(guò)2、3小時(shí)的日曬,透光部分的瀝青明顯變硬,而不透光部分瀝青依然軟并可被松香和植物油的混合液洗掉。光刻膠編碼HS編碼:3707100001[類(lèi)注]|[章注]|[子目注釋]中文描述:不含銀的感光乳液劑(CIQ碼:301:液體)英文描述:Non--0--silverlight-sensitiveemulsionagent申報(bào)要素:0。通過(guò)用強(qiáng)酸刻蝕玻璃板,Niepce在1827年制作了一個(gè)d’Amboise主教的雕板相的產(chǎn)品。
Niepce的發(fā)明100多年后,即第二次大戰(zhàn)期間才應(yīng)用于制作印刷電路板,即在塑料板上制作銅線(xiàn)路。到1961年光刻法被用于在Si上制作大量的微小晶體管,當(dāng)時(shí)分辨率5um,如今除可見(jiàn)光光刻之外,更出現(xiàn)了X-ray和荷電粒子刻劃等更高分辨率方法。一部分閃存產(chǎn)品前段器件形成時(shí),需要利用前面存儲(chǔ)單元cell區(qū)域的層多晶硅與光刻膠共同定義摻雜的區(qū)域,由于光刻膠是作為高濃度金屬摻雜時(shí)的阻擋層,在摻雜的過(guò)程中,光刻膠的外層吸附了一定濃度的金屬離子,這使得光刻膠最外面形成一層堅(jiān)硬的外殼。
光刻膠
按感光樹(shù)脂的化學(xué)結(jié)構(gòu),光刻膠可分為光聚合型光刻膠、光分解型光刻膠和光交聯(lián)型光刻膠。在應(yīng)用中,采用不同單體可以形成正、負(fù)圖案,并可在光刻過(guò)程中改變材料溶解性、抗蝕性等。
光聚合型光刻膠
烯類(lèi),在光作用下生成自由基,自由基再進(jìn)一步引發(fā)單體聚合。
光分解型光刻膠
疊氮醌類(lèi)化合物,經(jīng)光照后,會(huì)發(fā)生光分解反應(yīng),由油溶性變?yōu)樗苄浴?
光交聯(lián)型光刻膠
聚乙烯醇月桂酸酯,在光的作用下,分子中的雙鍵打開(kāi),鏈與鏈之間發(fā)生交聯(lián),形成一種不溶性的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)從而起到抗蝕作用。
按曝光波長(zhǎng),光刻膠可分為紫外(300~450 nm)光刻膠、深紫外(160~280 nm)光刻膠、極紫外(EUV,13.5 nm)光刻膠、電子束光刻膠、離子束光刻膠、X 射線(xiàn)光刻膠等。
按應(yīng)用領(lǐng)域,光刻膠可分為PCB 光刻膠、LCD 光刻膠、半導(dǎo)體光刻膠等。PCB 光刻膠技術(shù)壁壘相對(duì)其他兩類(lèi)較低,而半導(dǎo)體光刻膠代表著光刻膠技術(shù)的水平。