超純水是為了研制超純材料（半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等）應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來(lái)的水，其電阻率大于18 MΩ*cm，或接近18.3 MΩ*cm極限值（25℃）。簡(jiǎn)單得說(shuō)就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水  。原理是水分子在壓力的作用下，通過(guò)反滲透膜成為純水，水中的雜質(zhì)被反滲透膜截留排出。這樣的水是一般工藝很難達(dá)到的程度，理論上可以采用二級(jí)反滲透再經(jīng)過(guò)串聯(lián)的混合型交換樹(shù)脂柱對(duì)二次反滲水進(jìn)行處理，但是交換樹(shù)脂的再生不便，質(zhì)量難以保證.

工藝描述:

預(yù)處理系統(tǒng)通常包括石英砂過(guò)濾器，活性炭過(guò)濾器，必要時(shí)還可以采用軟化器，各設(shè)備能夠自動(dòng)進(jìn)行臭氧水反沖洗，自動(dòng)排放;輔助設(shè)備有自動(dòng)加藥系統(tǒng)，臭氧發(fā)生投加系統(tǒng)。其主要功能：保證在不同的進(jìn)水情況，使得二級(jí)RO系統(tǒng)獲得一個(gè)穩(wěn)定、合格的的進(jìn)水水質(zhì)。

工藝流程:

超純水,是一般純水設(shè)備很難達(dá)到的程度，通常采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純水處理設(shè)備以及后級(jí)處理四大步驟，多級(jí)過(guò)濾、離子交換（拋光）、超濾過(guò)濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達(dá)18.25MΩ*cm。

在生產(chǎn)過(guò)程中，我們都清楚，超純水設(shè)備生產(chǎn)制造超純水的技術(shù)能夠減少細(xì)i菌，但是無(wú)法根i除。盡管超純水中的營(yíng)養(yǎng)物質(zhì)含量極低，但是微生物還是能以很快的速度繁殖起來(lái)。實(shí)踐告訴我們：保持一個(gè)系統(tǒng)的純凈比清理一個(gè)受到污染的系統(tǒng)要簡(jiǎn)單得多。

事實(shí)上，在常溫下生產(chǎn)超純水的超純水設(shè)備會(huì)受到細(xì)i菌污染。與消毒不同，熱水消毒并不能像殺菌消毒那樣殺滅所有的細(xì)i菌。熱水消毒只能減少受污染設(shè)備的細(xì)i菌數(shù)量，將其降低到2‰~3‰

時(shí)間推移活性炭的孔隙內(nèi)和顆粒之間的截留物逐漸增加，使濾器的前后壓差隨之開(kāi)高，直至失效。  在通常情況下，根據(jù)過(guò)濾器的前后壓差，利用逆向水流反洗濾料，使大部分吸附于活性炭孔隙中的截留物剝離并被水流帶走，恢復(fù)吸附功能:當(dāng)活性炭達(dá)到飽和吸附容量徹底失效時(shí)，應(yīng)對(duì)活性炭再生或更換活性炭，以滿足工程要求。利用逆向進(jìn)水，使過(guò)濾器內(nèi)砂濾層松動(dòng)，可使粘附于濾料表面的截留物剝離并被反沖水流帶走，有利于排除濾層中的沉渣、懸浮物等，并防止濾料板結(jié)，使其充分恢復(fù)截污、從而達(dá)到清洗的目的。填裝濾料高度般為罐體高度的三分之二， 上層為活性炭， 下層填10-20公分石英砂作為墊層。