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長(zhǎng)方形一體成型腔室
超高真空(UHV)是一門(mén)精密技術(shù)的藝術(shù),各種鍍膜、檢測(cè)分析、量測(cè)、及其他實(shí)驗(yàn)皆可根據(jù)需求整合在一個(gè)或多個(gè)的超高真空(UHV)腔體(箱體),或以超高真空傳輸系統(tǒng)進(jìn)行鏈接,Htc日揚(yáng)真空在超高真空(UHV)腔體(箱體)制作擁有豐富經(jīng)驗(yàn)及技術(shù)。我們根據(jù)不同的實(shí)驗(yàn)需求對(duì)超高真空(UHV)腔體(箱體)進(jìn)行精密的設(shè)計(jì),能滿足配合客戶實(shí)驗(yàn)上的各種質(zhì)量及性能要求。
1. 腔體常規(guī)材質(zhì):不銹鋼304,可定制不銹鋼316、316L腔體;
2. 腔體可根據(jù)需求設(shè)有快開(kāi)進(jìn)樣門(mén),鉸鏈機(jī)構(gòu),移動(dòng)靈活,快開(kāi)門(mén)密封件材質(zhì)采用氟橡膠;
3. 法蘭接口、腔體大小根據(jù)客戶需求定制;
4. 腔室內(nèi)外徹底超聲波清洗,表面清潔;
5. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;
6. 配合適的真空系統(tǒng),真空度可進(jìn)入10-6Pa;
7. 供貨周期:確認(rèn)方案后5到6周;
以下是沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您一起分享的內(nèi)容,沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)長(zhǎng)方形一體成型腔室產(chǎn)品,歡迎新老客戶蒞臨。
真空腔體加工
真空腔體在薄膜涂層、微電子、光學(xué)器件和材料制造中,是一種能適應(yīng)高真空環(huán)境的特殊容器。真空腔體通常包括一系列部品——如鐘形罩、基板、傳動(dòng)軸以及輔助井,這些構(gòu)成一個(gè)完整的真空腔體。
相關(guān)真空機(jī)械加工:超高真空系統(tǒng)典型腔體、真空零部件加工、真空轉(zhuǎn)接頭、真空連接件。我們的制造工程師具有熟練的加工、焊接高真空和超高真空腔體用材料的能力,如304/304L/316/316L/316LN/410/416,我們有長(zhǎng)期加工制造經(jīng)驗(yàn),制作材料有保證。真空腔體的制造從原料采購(gòu),制造工藝,焊接方法,表面處理,氦泄漏檢查,焊后加工出來(lái)的成品的尺寸測(cè)量,還有表面是否有磨砂粒,是否粗糙,是否美觀,是否進(jìn)行了表面處理,是否符合客戶的一系列系統(tǒng)中的運(yùn)用,都由我們嚴(yán)格把關(guān)。真空室材質(zhì):304SS、304LSS、316SS、316LSS、 鋁真空等級(jí):基本壓力、可接受的的泄漏率表面處理:機(jī)械拋光、電解拋光、化學(xué)清洗特殊要求:真空烘烤、殘余氣體分析額外配件:盲板法蘭、旋轉(zhuǎn)位移器、觀察窗需求檢驗(yàn)報(bào)告:三坐標(biāo)檢測(cè)報(bào)告、合格證書(shū)、材質(zhì)證明
以上就是為大家介紹的全部?jī)?nèi)容,希望對(duì)大家有所幫助。如果您想要了解更多真空腔體加工的知識(shí),歡迎撥打圖片上的熱線聯(lián)系我們。
真空腔體概述
真空設(shè)備包含很多組件,如真空腔體,真空密封傳導(dǎo)件,視口設(shè)置,真空傳感器,真空顯示表,沉積系統(tǒng),蒸發(fā)源和蒸發(fā)材料,濺鍍靶材,等離子刻蝕設(shè)備,離子注入設(shè)備,真空爐,專(zhuān)用真空泵,法蘭,閥門(mén)和管件等。真空設(shè)備常用于脫氣,焊接,制備薄膜涂層,生產(chǎn)半導(dǎo)體/晶圓、光學(xué)器件以及特殊材料等。
基板指的是一個(gè)大的法蘭適配器,可以把一個(gè)位置低的腔體或者鐘形罩連接到真空泵?;逋ǔS幸粋€(gè)位于中心位置的端口或者法蘭連接裝置,可連接到真空抽氣系統(tǒng)。
脫氣箱或者脫氣室通常是腔體結(jié)構(gòu),一般帶有鉸鏈接口,可連接不需要高真空環(huán)境的其他裝置,如塑料樣品、血液、粘合劑、化學(xué)制品或其他液體的除氣設(shè)備。
輔助井用于連接抽氣系統(tǒng)和鐘形罩。
基地井整合了基板和真空密封頸,用焊接接頭取代一個(gè)真空密封件,可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)基板和密封設(shè)備兩個(gè)部件的功能。