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1級(jí):塵埃易使芯片失效或者穩(wěn)定性下降,當(dāng)金屬塵埃落于集成電路上時(shí),就可能造成短路。當(dāng)空氣中的酸性離子落在電路上時(shí),可能將電路腐蝕,因此凈化空調(diào)系統(tǒng)對(duì)微電子工業(yè)而言至關(guān)重要。此外,液晶、光纖的生產(chǎn)也需要1級(jí)潔凈度的要求?,F(xiàn)在我們國(guó)家的經(jīng)濟(jì)科技在發(fā)展,同時(shí)帶動(dòng)了社會(huì)各行各業(yè)在告訴發(fā)展中。以凈化工程這個(gè)行業(yè)為例,在目前呈現(xiàn)一片喜人的發(fā)展態(tài)勢(shì)。凈化工程的一般施工程序:粉塵作業(yè),無(wú)塵作業(yè)后,不允許交叉作業(yè)。 否則會(huì)影響項(xiàng)目的質(zhì)量。 也就是說(shuō),在完成所有粉塵產(chǎn)生操作之后,可以進(jìn)行無(wú)塵操作。
地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防靜電要求的,要選用防靜電型。送回風(fēng)管道一般用鍍鋅鋼板,不宜選用玻璃棉類(lèi)材料保溫。照明應(yīng)選用凈化車(chē)間燈具。而隨著凈化技術(shù)的發(fā)展,建設(shè)凈化車(chē)間的技術(shù)含量也越來(lái)越高,非專(zhuān)業(yè)人士不能也。除了在生產(chǎn)領(lǐng)域,凈化工程技術(shù)還會(huì)逐漸應(yīng)用于家庭、公共場(chǎng)合,為人們提供更潔凈的生活空間1級(jí):塵埃易使芯片失效或者穩(wěn)定性下降,當(dāng)金屬塵埃落于集成電路上時(shí),就可能造成短路。當(dāng)空氣中的酸性離子落在電路上時(shí),可能將電路腐蝕,因此凈化空調(diào)系統(tǒng)對(duì)微電子工業(yè)而言至關(guān)重要。此外,液晶、光纖的生產(chǎn)也需要1級(jí)潔凈度的要求。
1級(jí):主要應(yīng)用于電子工業(yè),這是目前對(duì)凈化工程要求高的環(huán)境,集成電路要求的精度要達(dá)到亞微米。隨著微電子工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域的突飛猛進(jìn),對(duì)潔凈室的要求越來(lái)越高。及時(shí)生產(chǎn)間內(nèi)的例子直徑僅有1微米,也會(huì)使產(chǎn)品壽命受到影響。凈化工程技術(shù)的興起不過(guò)是上個(gè)世紀(jì)的事情,但今天凈化技術(shù)發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產(chǎn)品向著好的方向發(fā)展,對(duì)凈化車(chē)間的依賴(lài)度也越來(lái)越高。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。
凈化工程的一般施工程序:粉塵作業(yè),無(wú)塵作業(yè)后,不允許交叉作業(yè)。 否則會(huì)影響項(xiàng)目的質(zhì)量。 也就是說(shuō),在完成所有粉塵產(chǎn)生操作之后,可以進(jìn)行無(wú)塵操作。凈化工程的步的關(guān)鍵是設(shè)計(jì),工程設(shè)計(jì)水平的好與壞將直接關(guān)系到整個(gè)工程之后的施工,還會(huì)影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟(jì)性。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。