微光顯微鏡偵測(cè)得到亮點(diǎn)之情況：會(huì)產(chǎn)生亮點(diǎn)的缺陷 - 漏電結(jié)（Junction Leakage）; 接觸毛刺（Contact spiking）; （熱電子效應(yīng)）Hot electr;閂鎖效應(yīng)（ Latch-Up）;氧化層漏電（ Gate oxide defects / Leakage(F-N current)）;多晶硅晶須（Poly-silicon filaments）; 襯底損傷（Substrate damage）; （物理?yè)p傷）Mechanical damage等。原來(lái)就會(huì)有的亮點(diǎn) - Saturated/ Active bipolar transistors; -Saturated MOS/Dynamic CMOS; Forward biased diodes/Reverse；biased diodes(break down) 等。


同時(shí)利用光誘導(dǎo)的電阻，它的主要原理是利用激光電視，在恒定電壓之下進(jìn)行掃描，通過(guò)一部分能量轉(zhuǎn)化為熱能，可以關(guān)注它所發(fā)生的實(shí)際變化。這樣在檢測(cè)的過(guò)程當(dāng)中，效率就會(huì)得到大幅度的提高。因此在檢測(cè)芯片的過(guò)程當(dāng)中，其實(shí)有很多比較重要的方法，客戶(hù)可以去關(guān)注emmi檢測(cè)和他的分析方式，目前國(guó)內(nèi)關(guān)于芯片的檢測(cè)機(jī)構(gòu)并不是特別的成熟。

（超聲波掃描顯微鏡)無(wú)損檢測(cè)

超聲掃描顯微鏡是一種利用超聲波為傳播媒介的無(wú)損檢測(cè)設(shè)備。在工作中采用反射或者透射等掃描方式來(lái)檢查材料內(nèi)部的晶格結(jié)構(gòu)，雜質(zhì)顆粒、夾雜物、沉淀物、內(nèi)部裂紋、分層缺陷、空洞、氣泡、空隙等。< br />< br />著作權(quán)歸作者所有。

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