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1級(jí):塵埃易使芯片失效或者穩(wěn)定性下降,當(dāng)金屬塵埃落于集成電路上時(shí),就可能造成短路。當(dāng)空氣中的酸性離子落在電路上時(shí),可能將電路腐蝕,因此凈化空調(diào)系統(tǒng)對(duì)微電子工業(yè)而言至關(guān)重要。此外,液晶、光纖的生產(chǎn)也需要1級(jí)潔凈度的要求。潔凈室中的溫濕度控制。潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到 人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。凈化工程技術(shù)的興起不過(guò)是上個(gè)世紀(jì)的事情,但今天凈化技術(shù)發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產(chǎn)品向著好的方向發(fā)展,對(duì)凈化車間的依賴度也越來(lái)越高。而隨著凈化技術(shù)的發(fā)展,建設(shè)凈化車間的技術(shù)含量也越來(lái)越高,非專業(yè)人士不能也。除了在生產(chǎn)領(lǐng)域,凈化工程技術(shù)還會(huì)逐漸應(yīng)用于家庭、公共場(chǎng)合,為人們提供更潔凈的生活空間
凈化工程技術(shù)的興起不過(guò)是上個(gè)世紀(jì)的事情,但今天凈化技術(shù)發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產(chǎn)品向著好的方向發(fā)展,對(duì)凈化車間的依賴度也越來(lái)越高?,F(xiàn)在我們國(guó)家的凈化工程已經(jīng)在朝著節(jié)能的方向發(fā)展了,除了專業(yè)人士以外,其他人很少知道凈化工程的耗能量特別大,時(shí)候普通寫(xiě)字樓的20倍,比美國(guó)更發(fā)達(dá)國(guó)家高出了15%??吹竭@些令人心驚的數(shù)字,我們國(guó)家的科學(xué)家們從節(jié)能的角度出發(fā)從根本上出出發(fā),設(shè)計(jì)出能夠節(jié)省的相關(guān)設(shè)備。凈化工程在設(shè)計(jì)時(shí),無(wú)論是新建還是重新改造的凈化車間,都一定依照國(guó)家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。凈化工程在設(shè)計(jì)時(shí),工程的墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門(mén)、窗框等一般采用氧化鋁型材。10級(jí):主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。其空氣凈化要求僅次于1級(jí),并且我國(guó)半導(dǎo)體技術(shù)也在發(fā)展之中,在未來(lái)對(duì)潔凈度的要求更加高。
對(duì)不同潔凈度等級(jí)的潔凈室,產(chǎn)生粉塵和有害氣體的潔凈室,被排介質(zhì)毒性大的、有易1燃易1爆氣體的崗位,應(yīng)單獨(dú)設(shè)局部排風(fēng)系統(tǒng)。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過(guò)25度。排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等,凈化車間設(shè)計(jì)時(shí),要根據(jù)實(shí)際情況選擇。