利用金屬在真空狀態(tài)下的變相特點，在與大氣壓只差0.1MPa范圍內的真空下，固態(tài)相變熱力學、動力學不產生什么變化。在制訂真空熱處理工藝規(guī)程時，完全可以依據在常壓下固態(tài)相變的原理，完全可以參考常壓下各種類型組織轉變的數據。同時，在真空脫氣作用下，可以提高金屬材料的物理性能和力學性能，在真空狀態(tài)下加熱，金屬工件表面元素會發(fā)生蒸發(fā)現象。金屬實現無氧化加熱所需的真空度，表面凈化作用，實現少無氧化和少無脫。


真空熱處理加工是和可控氣氛并駕齊驅的應用面很廣的無氧化熱處理技術，也是當前熱處理生產技術先進程度的主要標志之一。真空熱處理不僅可以實現鋼件的無氧化、無脫碳，而且還可以實現生產的無污染和工件的少畸變，因而，它還屬于清潔和精密生產技術范疇。目前，它已成為工模具生產中不可替代的先進技術。據國內外經驗，工件真空熱處理的畸變量僅為鹽浴加熱淬火的三分之一。研究各種材料、不同復雜程度零件的真空加熱方式和各種冷卻條件下的畸變規(guī)律。

零件的抗蝕性與抗高溫氧化性：表面熱處理可提高零件抗大氣腐蝕性能；鋼件滲鋁、滲鉻、滲硅后，與氧或腐蝕介質作用形成致密、穩(wěn)定的Al2O3、Cr2O3、SiO2保護膜，提高抗蝕性及高溫扛氧化性。

鋼件硬化的同時會帶來脆化。用表面熱處理方法提高表面硬度時，仍能保持心部處于較好的韌性狀態(tài)，是我們在進行使用時能夠強化本身的硬度，同時又為我們生產中帶來良好的發(fā)展。