FFU循環(huán)系統(tǒng)的特點是：整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成，由FFU提供循環(huán)空氣的動力，將新風、循環(huán)風混合后通過超過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負壓。手消毒完成后，然后通過潔凈走廊進入各自的生產操作區(qū)域（如帶潔凈手套可直接進入）。此外，還有生產輔助區(qū)為集成電路制造廠務設備區(qū)域，包括電力供應、氣體和化學品供應、超純水供應等。

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衛(wèi)生管理系統(tǒng)

1、為了防止交叉污染，清掃凈化車間設施的工具均應按產品特點、工藝要求、空氣潔凈度級別的不同分別專用，垃圾裝入防塵袋中拿出。

2、GMP車間的清掃必須在上下班前、生產工藝操作結束后進行，并且要在凈化車間空調系統(tǒng)運行中進行，此外，清掃工作結束后，凈化空調系統(tǒng)要繼續(xù)運行，直到恢復規(guī)定的潔凈級別為止，開機運行時間一般不短于該GMP車間的自凈時間。

外部水管路必須清潔干凈后，方可與本空調機組的換熱進、出水管路連接，以免將換熱器管路堵死；冷水盤管一般為下進上出，蒸汽盤管一般為上進下出，按標識接管，以避免接管錯誤；空調機組進、出水管一般采用管螺紋連接，與機組水管路相接時，不要用力過猛，以免損壞換熱器；為方便操作運行，在機組外管路上應設置放氣閥與泄水閥。塔式加熱設備圓柱狀塔內有一根鉆有許多小孔的無縫不銹鋼管用于導入蒸汽，小孔直徑為5-8mm，數(shù)目與導管的橫截面積有關，且上疏下密。

1、煙氣熱量積聚，蔓延途徑多。

潔凈室一般呈密閉狀態(tài)，門窗少，發(fā)生火災時，煙氣熱量不易向外散出，造成煙氣滯留，熱量劇增，加之廠房內通風管道、電氣線路套管、技術夾層等彼此聯(lián)通，很容易造成煙熱氣流向其它房間快速蔓延。

2、人員逃生困難。

潔凈室由于工藝上的要求，內部分隔復雜，通道曲折窄小，安全出口少，縱深距離長，火災發(fā)生后易迷失方向，加之工作人員少，初期火災難于及時發(fā)現(xiàn)，待煙火侵襲時已難脫身。