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特種氣體種類:廣義的“電子氣體”指可用于電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氣體,是重要原材料之一, 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導(dǎo)體領(lǐng)域生產(chǎn)的特種氣體。特種氣體種類:電子氣體可以分為電 子特種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入、刻 蝕、氣相沉積、摻雜等工藝,被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食” 和“源”。特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng):高壓容器內(nèi),存有內(nèi)容物時(shí),無論內(nèi)容量多少,在該容器儲(chǔ)存場地2m內(nèi),嚴(yán)禁明火或放置燃、可燃物。場所的環(huán)境溫度≤40℃為佳。
特種氣體分類:高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純 度的氣體,對(duì)于不同類別的氣體,純度指標(biāo)不同,大多用于超大規(guī)模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領(lǐng)域;特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng):儲(chǔ)存場地的道路,應(yīng)占整個(gè)場地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區(qū)分存放。充填容器入庫前需檢漏,長期存放的充填高壓容器需要每月復(fù)檢一次,并做記錄。滅菌特種氣體可殺滅細(xì)菌(及其內(nèi)孢子)、霉菌及真菌,因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。
電子特種氣體是集成電路、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽能電池等半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)制造過程中不可或缺的關(guān)鍵性化工材料,被廣泛的應(yīng)用 于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。特種標(biāo)準(zhǔn)氣體嚴(yán)格意義上應(yīng)稱為標(biāo)準(zhǔn)校正氣體,是一種高度均勻,穩(wěn)定性良好和量值準(zhǔn)確的氣體,它可以是單一的純氣體或高純氣體,也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)之一,故又稱為氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。特種氣體分類:高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純 度的氣體,對(duì)于不同類別的氣體,純度指標(biāo)不同,大多用于超大規(guī)模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領(lǐng)域;