氣體避免接觸火花、電流、電弧、必要的還要加裝防靜電裝置，氧化性氣體避免接觸油污、材料、使用管道要無(wú)油，有毒氣體使用時(shí)不可放在屋內(nèi)，要有專門(mén)的氣體放置區(qū)，腐蝕性氣體要避免人員接觸，氣體儲(chǔ)存區(qū)要嚴(yán)禁明火、嚴(yán)禁吸煙。

一、氣體和氧化性氣體使用時(shí)使用人員千萬(wàn)不可自己混合，如需混合氣體需有技術(shù)條件的廠家來(lái)提供。

二、 氣體使用時(shí)所能接觸的材料，不能有和此種氣體不相容或起反應(yīng)的材料。

三、使用人員要按照所使用氣體質(zhì)做的性必要的防護(hù)措施（穿戴護(hù)照的安全眼睛、防毒面具、相應(yīng)材料的防護(hù)服、皮手套等），廢氣要按照合適的方法處理。

四、氣體要在保質(zhì)期內(nèi)使用，不可超期使用。

五、 氣體使用期間，如發(fā)現(xiàn)問(wèn)題應(yīng)立即停止使用，待問(wèn)題調(diào)查清楚并解決后方可繼續(xù)使用，如屬于氣體性質(zhì)原因所引起，應(yīng)終止使用，把剩余氣體按合適方法處理

半導(dǎo)體生產(chǎn)用高純氣體的分類(lèi)

在高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)中的半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中，需要使用到很多高純氣體，這是普通氣體的提純，具體可以分為以下幾類(lèi)：

特種氣體：sih4、ph3、b2h6、a8h3、cl、hcl、cf4、nh3、pocl3、sih2cl2、sihcl3、nh3、bcl3、sif4、clf3、co、c2f6、n2o、f2、hf、hbr、sf6等,以及它們與氮、氬、氫、氦的混合氣體等，若以上述半導(dǎo)體使用時(shí)危險(xiǎn)性的分類(lèi),可分為:

一、可燃、自燃、可燃?xì)怏w,在空氣等助燃?xì)怏w中點(diǎn)火就會(huì)燃燒,可燃、氣體都有一定的火燃燒范圍,此范圍越大的氣體則危險(xiǎn)越高,屬于此類(lèi)氣體如:h2、nh3、sif4、ph3、2h6、clf3、sih2cl2、sihcl3等；

氣體混配器工作原理！

氣體混配器也稱氣體配比器、混合柜，該裝置是將需要使用的兩種或多種氣體，按生產(chǎn)工藝要求進(jìn)行配比，以獲取均勻的混合氣體。此裝置具有配比精度高、流量大、比例穩(wěn)定等特點(diǎn)，混合精度可達(dá)到±1.5%，且輸出穩(wěn)定等特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于焊接、鑄造、化工、船舶、金屬表面處理、食品保鮮等行業(yè)。

工作原理：

兩元或多元需要混合的氣體經(jīng)過(guò)單向閥進(jìn)入兩級(jí)或多級(jí)壓力平衡裝置，平衡其輸入壓差，從而保證了混合前組分氣體和稀釋氣體的壓力相同，然后調(diào)節(jié)流量控制閥，可將各流量依據(jù)希望達(dá)到的混氣比例進(jìn)行調(diào)定。原理上采用動(dòng)態(tài)氣體混合法，即混即用，從而保證了混配氣體的均勻性，復(fù)現(xiàn)性優(yōu)良，比例穩(wěn)定。可適用于配制焊接混合氣、氣調(diào)保鮮混合氣、電光源混合氣，檢漏（報(bào)警）混合氣，消菌混合氣等。