標(biāo)準(zhǔn)氣體在進樣中的注意事項：樣品氣的置換，由于標(biāo)準(zhǔn)氣都要經(jīng)過減壓器和管線后才能取樣，要準(zhǔn)確取樣必須將減壓器和管線進行充分的置換，這種置換不是簡單意義上的吹掃。因為減壓器的死體積很大，不斷將鋼瓶閥打開關(guān)閉反復(fù)3次以上，每次將減壓器里的氣體排盡，然后再吹掃系統(tǒng)才能正確取樣。進樣管線的氣密性，進樣管線的泄漏，對樣品的數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性有很大影響。

?高純氣體管道的組成

高純氣體管道是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，是將符合要求的高純氣體送至用氣點仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵 ，包括系統(tǒng)的設(shè)計、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗測試等內(nèi)容。半導(dǎo)體技術(shù)是 20 世紀(jì)以來偉大的也是具有生命活力的技術(shù)，半導(dǎo)體制造技術(shù)是貫穿高純氣體的提供、原料硅的提煉 、晶圓的制造 、IC 的封裝和測試的整個過程。反映當(dāng)今世界高科技水平的微電子產(chǎn)品，正以、低成本為目標(biāo)，高速地向高密度、高集成發(fā)展，對氣體雜質(zhì)含量限制更加嚴(yán)格 ，相應(yīng) 的高純、高潔凈氣體及其管路的輸配




氦氣為無色無味，不可燃?xì)怏w，空氣中的含量約為百萬分之5.2?；瘜W(xué)性質(zhì)完全不活潑，通常狀態(tài)下不與其它元素或化合物結(jié)合。理論上可以從空氣中分離抽取，但因其含量過于稀薄，工業(yè)上從含氦量約為0.5%的氣體中分離、精制得到氦氣。氦，HELIUM，源自helios，意為'太陽'，1868年發(fā)現(xiàn)。它比空氣輕，廣泛地應(yīng)用于飛艇和氣球，以取代其有高度可燃性的氫氣。液態(tài)氦因其沸點特別低而成為低溫學(xué)領(lǐng)域的無價之寶。