Parylene氣相沉積涂敷工藝

　 在微電子領(lǐng)域，近些年P(guān)arylene應(yīng)用發(fā)展較快，真空氣相沉積制備的Parylene不僅可制精細(xì)尺寸的涂層，而且該涂層可用微電子的加工工藝進(jìn)行刻蝕加工圖形。它除了作為微電子器件鈍化材料、引線加固封裝材料外，在微米以下超大規(guī)模集成電路制作中,還作為一種低介電常數(shù)材料用作集成電路的介電材料,特別是氟代Parylene，更被國(guó)外集成電路研究者所青睞，用作多層集成超大規(guī)模集成電路的層間絕緣介質(zhì)。 　　 　　Parylene氣相沉積涂敷工藝涂敷時(shí)，在工作上有很強(qiáng)的滲透性，能滲透到SMT貼片工件的底部和工作表面疏松的毛細(xì)孔中，真正形成完全敷形，均勻一致的防護(hù)涂層。Parylene氣相沉積涂敷工藝沒有溶劑、助劑，即使在0.1微米厚也沒有，氣態(tài)小分子在工作表面直接聚合成固態(tài)的涂層薄膜，沒有通常涂層的固化過程和固化引起的收縮應(yīng)力，對(duì)工件能進(jìn)行表面加固，但不會(huì)引起傷害，也沒有因表面張力而引起的涂層彎月面狀不均勻。

Parylene涂層自身的特性

Parylene涂層自身的特性決定了它往往具有非常神奇的應(yīng)用，可以說只有想不到的地方，沒有用不到的之處。這需要充分發(fā)揮我們從業(yè)者需求者的聰明才智，才可以充分發(fā)揮出Parylene自身的潛能。1、Parylene本身具備的防護(hù)特性，防鹽霧，防氧化，防潮濕等 “三防”性能優(yōu)異，且極耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿，而涂敷過程不飽和分子級(jí)自由基可以說無孔不入，注定parylene涂層是很好的部件內(nèi)孔腔甚至不銹鋼管道內(nèi)防腐涂層,尤其在極其惡劣的強(qiáng)酸強(qiáng)堿環(huán)境中對(duì)相關(guān)部件進(jìn)行強(qiáng)化防護(hù)，以盡可能延長(zhǎng)其使用壽命，而大大降低因頻繁更換相應(yīng)部件而導(dǎo)致的大量的成本浪費(fèi)。2、對(duì)磁鐵鑄件外殼和其它內(nèi)部金屬磁盤驅(qū)動(dòng)部件進(jìn)行涂敷可以固定微小的金屬顆粒和其它玷染物，否則對(duì)于很小容忍度的產(chǎn)品來說，其部件就可能發(fā)生故障。

parylene鍍膜技術(shù)廣泛

parylene鍍膜技術(shù)廣泛用于航空航天、電路板、led 、磁性材料、傳感器、硅橡膠、密封件、、珍貴等領(lǐng)域;經(jīng)parylene涂敷后的產(chǎn)品具有極高的絕緣強(qiáng)度和耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤(rùn)滑、防塵、防潮、防銹、透明、防水、抗老化、生物相容性等作用; ptp-7納米真空氣相鍍膜機(jī)采用plc控制系統(tǒng)，全彩觸摸屏人機(jī)對(duì)話界面，自動(dòng)調(diào)整蒸發(fā)速度，保證沉積壓力的均勻性。兩套氣缸裝置，方便鍍膜前產(chǎn)品的放置，無需徒手搬運(yùn)。配置真空羅茨泵，加快抽速，提高鍍膜效率。鍍膜室容量加大，適合大批量生產(chǎn)和尺寸大的產(chǎn)品，減少鍍膜成本。 真空脫氣爐ptd-6h對(duì)于因產(chǎn)品表面的水汽等原因造成抽真空速度慢，產(chǎn)品附著力不好等問題，真空脫氣爐通過沖入氮?dú)?，并給氮?dú)饧訜醽砻摮稣婵涨惑w內(nèi)的空氣等，可以大大縮短鍍膜前抽真空的時(shí)間，也降低真空鍍膜系統(tǒng)內(nèi)的有氧腐蝕，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。

       作為電子電路的防護(hù)涂層，Parylene不需另加防霉劑，自己防霉能達(dá)零級(jí)。在鹽霧實(shí)驗(yàn)中，與其它涂層相比，Parylene防護(hù)的電路電阻幾乎不降落，其它涂層則都有較大的降落。很薄的Parylene涂層能提供的防護(hù)性能，還有利于電路板工作熱量的消失，因此作為防護(hù)涂層Parylene能使電路具有更高的可靠性，分外是小型高密集度電子電路的防護(hù)，Parylene更表現(xiàn)出其獨(dú)到的上風(fēng)。