氫氣檢漏法的主要設(shè)備

(1)檢漏儀：采用上述工作原理制造的專用氫氣檢漏儀，由于氫氣的上述性質(zhì)，其靈敏度可以達(dá)到與氦檢相同水平。

(2)示蹤氣體充注控制器：對(duì)于批量生產(chǎn)的用戶，采用示蹤氣體充注控制器進(jìn)行抽真空/充氣/排氣操作，可以完成對(duì)檢測管道的充氣和排氣過程自動(dòng)化控制。

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氫氣檢漏法的優(yōu)勢

制冷、空調(diào)行業(yè)檢漏技術(shù)的現(xiàn)狀：在產(chǎn)品部件生產(chǎn)過程中，目前常使用氦檢漏技術(shù)來查找微小的泄漏，而保壓測試和水浴法常被用來檢測較大的泄漏。同時(shí)，由于氫氣在一般環(huán)境中的含量濃度都非常低，所以不會(huì)因本底污染而導(dǎo)致誤報(bào)警。產(chǎn)品裝配完成并充入制冷劑之后，可能在出廠前還會(huì)使用鹵素檢漏儀對(duì)整個(gè)產(chǎn)品再進(jìn)行一次檢漏。由于保壓測試和水浴法只能檢出10-3mbar·l/s左右的泄漏，因此長期以來，氦檢漏技術(shù)是制冷、空調(diào)行業(yè)中的檢小漏的手段，吸槍式氦檢漏技術(shù)一般可以檢出10-7mbar·l/s左右的泄漏。但是，以氦氣作為示漏氣體，也有一些不足之處，例如橡膠、塑料等有機(jī)材料常常會(huì)吸收氦氣，在吸收后慢慢地釋放出來;所有的氦氣檢漏儀器機(jī)構(gòu)的離子收集板，對(duì)氦氣都會(huì)產(chǎn)生記憶效應(yīng)，即氦離子打到離子收集板上，并儲(chǔ)存一定時(shí)間，然后再慢慢釋放出來，從而造成本底的噪音等問題。

無論是在漏點(diǎn)定位還是在泄漏測試應(yīng)用，這種檢漏方法已經(jīng)在各個(gè)行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)得到了廣泛使用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)，用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。與氦氣相比，使用低密度的安全氫氣作為檢漏用的示蹤氣體具有很多優(yōu)勢。其價(jià)格非常低廉，很容易在各個(gè)氣體供應(yīng)商處購得?，F(xiàn)今的氫氮混合氣檢漏技術(shù)可以檢出低至5*10-7mbar/s的泄漏，相當(dāng)于0.1g/y，其氣體使用成本僅是氦氣的1/10到1/20，同時(shí)氦氣檢漏法要增加一些輔助設(shè)備，如氦氣回收系統(tǒng)等。

真空檢漏

超聲波法

該方法實(shí)際上是聽音法的一種。氫的分子量與氦氣相近，是所有化學(xué)元素中分子量最輕的元素，有很好的擴(kuò)散性，逃逸性很強(qiáng)，吸附及粘滯性很低。它是將泄漏聲音中可聽頻率部分截掉，僅僅使超聲波部分放大，以檢測出泄漏。檢測時(shí)，可以直接使用超聲波檢測器，根據(jù)檢測儀表指針是否擺動(dòng)，確定有無泄漏。也可以采用使超聲波回到可聽頻率范圍內(nèi)鳴笛的方法。采用后一種原理制造的超聲波轉(zhuǎn)換器不僅在被試驗(yàn)物加壓時(shí)可以使用，在抽真空時(shí)，由于吸入的空氣發(fā)出超聲波，因而，采用真空法時(shí)也可以使用。

超聲波轉(zhuǎn)換器由于只檢測超聲波部分，在普通工廠的噪音條件下，不受明顯干擾，因此檢漏效果很好。

該法的靈敏度與被試驗(yàn)物體的加壓、減壓狀況、泄漏的大小、泄漏點(diǎn)與檢漏器（探頭）間的距離等因素有關(guān)。當(dāng)泄漏點(diǎn)與探頭距離很近時(shí)，超聲波轉(zhuǎn)換器的靈敏度可達(dá)1′10-2cm3/s。

檢漏時(shí)將檢漏器的靈敏度調(diào)到較大，一邊移動(dòng)探頭，一邊偵聽，使能聽到的超聲波發(fā)出的聲音達(dá)到較大。真空設(shè)備檢漏氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際上可以說是一個(gè)檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。然后，再尋找發(fā)出超聲波的位置，以便確定泄漏點(diǎn)。但在探頭不易接近的地方出現(xiàn)泄漏時(shí)，就很準(zhǔn)確地判斷出泄漏點(diǎn)。這種方法操作簡便，人為因素較小，不同檢測人員所得到的檢測結(jié)果基本相同。

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真空設(shè)備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對(duì)應(yīng)

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進(jìn)或流出這個(gè)空間。基本工作原理是使用專門開發(fā)的氫氣傳感器，它只對(duì)氫氣有響應(yīng)信號(hào)，而對(duì)其他氣體沒有響應(yīng)，屬于唯1性檢漏性檢漏方法。如真空設(shè)備（真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時(shí)，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi)，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省?

這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要先進(jìn)行檢漏，使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。

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