無(wú)塵車間接地系統(tǒng)的分哪幾類？

電子設(shè)備接地

可以將直擊雷與雷電波侵入的雷害的概率降低很多。對(duì)于一般電氣設(shè)備, 允許的雷電脈沖較高, 因此采取避雷針 、避雷網(wǎng)防直擊雷等措施是極其有效的。微電子設(shè)備非常靈敏, 耐壓水平很低, 一般只有 10 V左右, 對(duì)雷擊電磁脈沖極為敏感, 易受到電磁干擾和損壞。雷擊電磁脈沖因電磁感應(yīng)產(chǎn)生, 并且可以通過(guò)電源線 、天線 、信號(hào)線的耦合被引入微電子設(shè)備。

是微電子設(shè)備損壞的主要原因。如果僅按照一般建筑進(jìn)行防雷設(shè)計(jì), 建筑電子設(shè)備受雷擊的損壞

率就很高, 因此對(duì)于無(wú)塵車間的防雷接地設(shè)計(jì)應(yīng)采取相應(yīng)的措施。無(wú)塵車間應(yīng)按照防閃電電磁

脈沖的屏蔽和等電位聯(lián)結(jié)要求, 宜擴(kuò)大側(cè)擊及等電位聯(lián)結(jié)措施, 將地面以上建筑物的外墻上的所有結(jié)構(gòu)鋼筋體、金屬門窗、欄桿、幕墻等金屬體與防雷裝置相連接以構(gòu)成龐大的屏蔽體。

過(guò)濾器DOP（PAO）檢漏法在潔凈室中的應(yīng)用

掃描時(shí)采樣頭距過(guò)濾器面約1英寸（約2. 54cm），掃描速度不超過(guò)5cm/s。掃描按直線來(lái)回往復(fù)地進(jìn)行，線條間應(yīng)重疊。檢測(cè)過(guò)程中，若有報(bào)警聲（即%LEAKAGE（泄漏率）超過(guò)0.01%），表明有泄漏。泄漏處使用專用膠水堵漏或緊固以后再進(jìn)行掃描巡檢。檢查一個(gè)過(guò)濾器約為5 min左右，在測(cè)試的過(guò)程中，應(yīng)經(jīng)常確認(rèn)上游氣溶膠的濃度。