凈化車(chē)間屬于人造的環(huán)境

凈化車(chē)間屬于人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長(zhǎng)，也增加了對(duì)制造環(huán)境(凈化車(chē)間)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻礙產(chǎn)品的制作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí)，就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。所以?xún)艋?chē)間為集成電路制造必不能少的因素。

螺桿式空壓機(jī)組主要有以下系統(tǒng)組成

螺桿式空壓機(jī)組主要主要有以下系統(tǒng)組成：空氣流程系統(tǒng)、潤(rùn)滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、安全保護(hù)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線路。螺桿式空壓機(jī)組主要有壓縮機(jī)、電動(dòng)機(jī)、空氣濾清器、進(jìn)氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤(rùn)滑油冷卻器壓力開(kāi)關(guān)、單向閥、儲(chǔ)氣罐、壓力表、自動(dòng)排水器、安全閥等設(shè)備部件。另外在空壓機(jī)系統(tǒng)中大多配置冷干機(jī)和空氣干燥器。由于半導(dǎo)體工藝對(duì)操作室清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過(guò)程中揮發(fā)的各類(lèi)廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。

凈化車(chē)間為保證系統(tǒng)的正常運(yùn)行

凈化車(chē)間為保證系統(tǒng)的正常運(yùn)行，節(jié)約能量，并防止室內(nèi)不間之間的相互污染，在凈化空調(diào)系統(tǒng)劃分時(shí)，還應(yīng)綜合考慮，分別設(shè)置獨(dú)立的凈化空調(diào)系統(tǒng)驗(yàn)收：1.風(fēng)管不得有橫向拼接縫，盡量減少縱向拼接縫；2.風(fēng)管內(nèi)表面必須平整光滑，不得在風(fēng)管內(nèi)設(shè)加固框及加固筋；3.風(fēng)管接縫應(yīng)嚴(yán)密，漏風(fēng)量符合設(shè)計(jì)要求；4.風(fēng)管、靜壓箱和部件必須保持清潔；5.保溫層外表面應(yīng)平整、密封、無(wú)脹裂和松弛現(xiàn)象；6.所有閥門(mén)的把手需設(shè)置在便于操作的位置。