半導體凈化車間設計的設計范圍

半導體凈化車間設計的設計范圍包括：裝修方案（圍護、地面防水保溫處理），暖通方案（空調(diào)設備、風管、水管等），特氣供應方案（特氣柜含保險控制、房間氣體監(jiān)測、EP級管道及BA管道、供氣管路尾氣處理），壓縮空氣方案，廢氣處理方案（儀器設備POU處理、房間排風廢氣處理），電氣方案（空調(diào)設備動力配電等），弱電工程，集成控制智能平臺，純水方案（冷卻水、去離子水、超純水、水管等），廢水處理。

在廠房裝修過程中，首先要注意的是合理有效地劃分空間，布局是廠房裝修的首要因素，一般的廠房面積較大，那么在劃分使用功能的時候還要考慮到分布以及通風、消防通道的預留。為便于管理，廠房多明確劃分設備區(qū)與辦公區(qū)的位置，并以地面的色調(diào)為準，對區(qū)域進行劃分，同時也要考慮到設備區(qū)與辦公區(qū)的空間流暢性。還應該考慮到通風、采光的需要。如果設備眾多的，應該劃分好區(qū)域，做好標識。劃分區(qū)域的標識應該盡量避免色彩過多，做到明朗、清晰就可以。

潔凈區(qū)內(nèi)各潔凈室的門,考慮到維持室內(nèi)壓力狀況的需要

潔凈區(qū)內(nèi)各潔凈室的門，考慮到維持室內(nèi)壓力狀況的需要，其開設方向要朝向壓力大的房間，因為要靠壓力把門壓緊，這顯然和安全疏散的要求相反。為了考慮平時潔凈和緊急疏散時的兩方面要求，規(guī)定潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)之間的門、潔凈區(qū)與室外的門作為安全疏散門對待，其開啟方向一律朝向疏散方向，當然，單設的安全門也是如此。潔凈室的建筑裝飾工程主要是指除主體結構和外門外窗之外的包括地面與樓面裝飾工程。