汽車(chē)產(chǎn)品

1、密封件

2、O型圈

3、墊片

4、燃料電池

5、電子產(chǎn)品

6、傳感器

7、輪胎壓力監(jiān)控

8、發(fā)光二極管

作用：抗高溫、抗碳?xì)浠衔铩⒖垢g性氣體和濕度

自動(dòng)化控制和惡劣環(huán)境下使用的傳感器、換能器、用很薄的Parylene涂層防護(hù)可以提高環(huán)境適應(yīng)性和可靠性。

橡膠/硅樹(shù)脂

1、密封件、O型圈、墊片

2、彈性體元件

3、塞子和柱塞

作用：干式潤(rùn)滑，隔離，不互相沾黏、不沾纖維和污垢，無(wú)印記，無(wú)表面損傷。Parylene能夠保護(hù)產(chǎn)品免受油、污垢、溶劑、酸液的影響。

無(wú)論監(jiān)控儀精度怎樣，它也只能控制真空室里單點(diǎn)位置的膜厚，一般來(lái)講是工件架的中間位置。如果真空電鍍?cè)O(shè)備此位置的膜厚不是均勻的，那么遠(yuǎn)離中心位置的基片就無(wú)法得到均勻的厚度。雖然屏蔽罩能消除表現(xiàn)為長(zhǎng)期的不均勻性，但有些膜厚度的變化是由蒸發(fā)源的不穩(wěn)定或膜材的不同表現(xiàn)而引起的，所以幾乎是不可能消除的，但對(duì)真空室的結(jié)構(gòu)和蒸發(fā)源的恰當(dāng)選擇可以使這些影響較小。

Parylene是美國(guó)Union Carbide Co.公司在六十年代推出的一種氣相沉積高分子聚合物材料，由獨(dú)特的真空氣相沉積工藝制備，能涂敷到各種形狀的表面，號(hào)稱“無(wú)孔不入”，被業(yè)內(nèi)稱為好的防潮、防霉、防腐、防鹽霧的特殊防護(hù)涂層。Parylene可分為N型、C型、D型、F型、HT型等多種類型

現(xiàn)在，系統(tǒng)的平均尺寸規(guī)格已經(jīng)在降低，而應(yīng)用小規(guī)格設(shè)備進(jìn)行光學(xué)鍍膜的生產(chǎn)也已經(jīng)轉(zhuǎn)變成為純技術(shù)問(wèn)題。

真空鍍膜設(shè)備主要指需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。

根據(jù)工藝要求選擇不同規(guī)格及類型鍍膜設(shè)備，其類型有電阻蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備、電子束蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備、磁控濺射真空鍍膜設(shè)備、離子鍍真空鍍膜設(shè)備、磁控反應(yīng)濺射真空鍍膜設(shè)備、空心陰極離子鍍和多弧離子鍍等。