半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣，高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；6nm）氙：1、充入HID氙燈中，在啟動(dòng)后立即獲得全部光輸出的80%，放電時(shí)發(fā)射白光，色溫5500K。高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。電子氣體按純度等級(jí)和使用場合，可分為電子級(jí)，LSI（大規(guī)模集成電路）級(jí)，VLSI（超大規(guī)模集成電路)級(jí)和ULSI(特大規(guī)模集成電路）級(jí)。    

           近幾年來，智研數(shù)據(jù)研究中心隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場需求量明顯增長，電子特種氣體的國產(chǎn)化已是大勢所趨。據(jù)了解，我國在國產(chǎn)化方面取得可喜進(jìn)展：國產(chǎn)高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局，高純四氟化碳“有價(jià)無貨”時(shí)代也宣告結(jié)束，高純已成功打開國內(nèi)市場。因?yàn)槲絼╋柡褪?，平衡吸附量缺乏，?duì)于增多的水分便沒有辦法再進(jìn)行吸收，這便造成了設(shè)備當(dāng)中六氟化硫氣體含水量的增多。

電子氣體主要包括：、、乙、化氫、硒化氫、、四氟化碳、化三氫、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化鎢、六氟化硫、、磷烷、、、氣、氨氣、電子級(jí)等.

其中六氟化硫、電子級(jí)、、磷烷使用較多。

高純氙氣哪里買？因?yàn)殡瘹獾膬r(jià)格昂貴，客戶的氙氣用量較少，氙氣的供應(yīng)一般由專業(yè)經(jīng)營氣體的公司代理并銷量，氙氣廠家一般不直接銷售氙氣產(chǎn)品，廠家只進(jìn)行氙氣的提取和高純氙氣的純化。

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空氣分離是工業(yè)上常見的氣體制備方法，通過空分設(shè)備把空氣中的各組份氣體分離，生產(chǎn)氧氣、氮?dú)夂蜌猓€有稀有氣體氣、氣、氣、氙氣等。

稀有氣體的生產(chǎn)涉及到空氣、、合成氨尾氣及核反應(yīng)堆裂變氣等多種氣源。雖然涉及面較廣，制取的工藝流程又多種多樣，但就其制取的基本原理來說，都是利用各種稀有氣體及其伴隨雜質(zhì)的物理、化學(xué)特性的差別。

目前在工業(yè)上具體應(yīng)用的物理方法，例如分凝、、精餾、洗滌(物理吸收）、吸附、薄膜滲透和擴(kuò)散單元操作

稀有氣體提取設(shè)備的調(diào)平、配管和試壓等應(yīng)按本章相應(yīng)各節(jié)的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。