利用石英撓性加速度計可以測量航天器低頻微振動,同時也可實現(xiàn)航天器在軌微角振動的間接測量。針對航天器特點,結(jié)合石英撓性加速度計工作特性,提出用石英撓性加速度計測量航天器微振動的方法,給出微振動加速度、角加速度、角速度和角位移的不確定度分析,根據(jù)測量原理給出了各影響因素對測量合成不確定度的計算方法和分析結(jié)果。三軸石英擾性加速度傳感器型號具有優(yōu)良的長期穩(wěn)定性、重復(fù)性、啟動性能、環(huán)境適應(yīng)性及可靠性高等特點。產(chǎn)品既可用于靜態(tài)測試也可以用于動態(tài)測試，也是一款標(biāo)準(zhǔn)的振動傳感器。

石英撓性伺服加速度計是一個力平衡式的伺服系統(tǒng)。其特點是精度高、穩(wěn)定性好、分辨率高。特別是其敏感元件是由接近零溫度系數(shù)的熔融石英玻璃制成，使整個加速度計具有滯后小、重復(fù)性高、漂移小、熱穩(wěn)定性高等優(yōu)點。三軸石英擾性加速度傳感器型號用途：各種交通工具的低頻震動，線加速度及慣性運(yùn)動的精密測量或控制。各種大型構(gòu)件、橋梁、水壩、高層建筑、船泊等的搖擺、低頻震動及傾斜的精密測量和控制。機(jī)器人姿態(tài)角控制、 自動駕駛儀控制元件及平臺水平位置的精密測量和控制。也可對高聳建筑和大跨度建筑的微震測量。

石英撓性加速度計作為慣性儀表，其性能通過其模型方程系數(shù)的標(biāo)定來表征。加速度計模型方程系數(shù)的測試可采用四點法、八點法、十二點法等方式，為常用的是四點法，即在周向360°范圍內(nèi)，均分4點，每90°一個點，通過測試設(shè)備和工裝實現(xiàn)每個位置，加速度計的實時輸出，并利用各點的輸出值，計算得到加速度計模型方程系數(shù)值。現(xiàn)有石英撓性加速度計測試過程一般是在精密光學(xué)分度頭上進(jìn)行，精密光學(xué)分度頭可實現(xiàn)周向360°內(nèi)不同角度的設(shè)定及固定。可以滿足加速度計模型方程系數(shù)的測試要求。

三軸石英擾性加速度傳感器型號由力矩器由軛鐵、磁鋼、磁極片與補(bǔ)償環(huán)組成，其中磁鋼選用合適的永磁材料構(gòu)成永磁體以建立磁場，軛鐵與磁極片使磁場沿軛鐵形成磁回路，補(bǔ)償環(huán)對漏磁進(jìn)行補(bǔ)償，上下力矩器采用同極對頂結(jié)構(gòu)實現(xiàn)推挽工作方式，通過腹帶將上下力矩器與擺片固定為整體，當(dāng)外界有加速度輸入時，擺片受慣性力作用將離開平衡位置。此時由擺片上下表面與上下力矩器端面組成的差動電容容值將發(fā)生改變，這一電信號通過接線柱輸出至伺服回路。經(jīng)過放大的電流信號輸出至線圈，利用通電導(dǎo)線在磁場中受到的安培力經(jīng)推挽作用使擺片回復(fù)平衡位置。在擺片偏轉(zhuǎn)角度很小的情況下，該電流近似與輸入加速度呈線性關(guān)系。此時檢測該電流就能得到輸入加速度大小。