在外加高壓電場作用下，逸出電子和自由電子被加速獲得很高能量。高能電子運(yùn)動中與氣體分子、原子發(fā)生非彈性碰撞，其動能轉(zhuǎn)換成基態(tài)分子（原子）的內(nèi)能，引發(fā)超激發(fā)、離解和電離等過程，形成等離子體，一方面其內(nèi)部巨大的電場作用，對細(xì)菌細(xì)胞膜構(gòu)成嚴(yán)重?fù)舸┖推茐?；另一方面打開氣體分子鍵，生成一些單原子分子和負(fù)氧離子、OH離子和自由氧原子等自由基，具有活化和強(qiáng)氧化能力，激發(fā)態(tài)粒子又能輻射紫外線，這就是等離子體消毒的機(jī)理。利用此原理在針狀或絲狀電極上加上高壓發(fā)生電暈放電，產(chǎn)生大范圍穩(wěn)定的等離子體進(jìn)行殺滅細(xì)菌、病毒、分解有害有機(jī)物。

蒸汽消毒柜殺菌消毒優(yōu)點(diǎn)在于可以高溫蒸汽消毒，且溫度也溫，不容易損壞餐具，但不好的是消毒后的餐具那么經(jīng)過烘干都有水份，沒有高溫的方便，且蒸汽的只合適大的公司使用，一般家庭建議還是用高溫的吧。

蒸汽消毒是4種常用消毒方法中，是目前4種消毒效果中常用的一種殺菌消毒效果。根本不需要用臭氧和紅外線輔助消毒，蒸汽對人和環(huán)境，是綠色環(huán)保的介質(zhì)，即安全可靠又無味無毒

消毒柜的分類

按功能分：有單功能的和多功能的類別。單功能消毒柜通常采用高溫、臭氧、紫外線等單一功能來進(jìn)行消毒;多功能消毒柜多采用高溫、臭氧、紫外線、蒸汽、納米等不同組合方式來消毒，能夠殺滅多種病毒、細(xì)菌。

電熱食具消毒柜：通過電熱元件加熱產(chǎn)生熱量來進(jìn)行食具消毒的消毒柜。

臭氧食具消毒柜：通過臭氧作用而進(jìn)行食具消毒的消毒柜