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激光干涉儀的類型有哪些？

您知道激光干涉儀的類型有哪些嗎？

1、單頻激光干涉儀

從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。它由一安裝在可伸縮的纖維桿內(nèi)的高精度位移傳感器構(gòu)成，該傳感器包括兩個線圈和一個可移動的內(nèi)桿，其工作原理類同于使用LVDT技術(shù)的位移傳感器。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機按計算式式中λ為激光波長(N 為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。

校驗測針要注意的問題：

測針校驗后的校正直徑小于名義值，不會影響三座標測量機的測量精度。重復(fù)進行3到4次校正，觀察其校驗結(jié)果的重復(fù)數(shù)據(jù)，檢查了測頭、測針、標準球是否安裝牢固，同時也要檢查機器的工作狀態(tài)。相反，還會對觸測和測針的變形起到補償?shù)淖饔?，因為我們在用三坐標測量機測量過程中測量軟件對紅寶石球半徑的修正（把測針紅寶石球中心點的坐標換算到觸測點的坐標），使用的是校正直徑而不是名義直徑。

為什么使用球桿儀？

作用：機床精度綜合檢測分析的標準設(shè)備。

測試原理為：利用機床的兩軸聯(lián)動做圓弧插補，通過分析圓弧的半徑變化和弧線的軌跡特征來判斷機床的誤差元素。