潔凈室中的氣流速度規(guī)定：這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度，在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時(shí)再說(shuō)明。對(duì)于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱(chēng)層流潔凈室，由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指標(biāo)。過(guò)去都參考美國(guó)20gB標(biāo)準(zhǔn)，采用0.45m/s．但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是極大的，為了節(jié)能，也都在探求降低風(fēng)速的可行性。

    光學(xué)微電子凈化工程亦名無(wú)塵室或清凈室，已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線(xiàn)路板制造和生物化學(xué)、、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來(lái)，由于技術(shù)之發(fā)展，對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國(guó)在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目，而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于地位。

在日常的保護(hù)中，凈化手術(shù)室需求留意以下的事項(xiàng)：

　　1、手術(shù)室凈化工程的過(guò)濾器替換結(jié)束后需確認(rèn)邊框無(wú)滲漏現(xiàn)象，并用塵埃粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測(cè)，達(dá)到技術(shù)指標(biāo)后方可進(jìn)行正常工作。

　　2、定時(shí)對(duì)電氣線(xiàn)路進(jìn)行檢修，如有毛病可參照電氣原理圖進(jìn)行修理。

　　3、要定時(shí)運(yùn)用儀器測(cè)定設(shè)備的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)，如不契合技術(shù)參數(shù)要求應(yīng)及時(shí)予以處理。

　　4、依據(jù)實(shí)際運(yùn)用情況，定時(shí)將手術(shù)室凈化工程的初效空氣過(guò)濾器中的濾料取下清洗。

   　5、當(dāng)發(fā)現(xiàn)風(fēng)速變小時(shí)應(yīng)首先查看初效空氣過(guò)濾器表面是否發(fā)黑，若發(fā)黑則說(shuō)明預(yù)過(guò)濾器容塵較多，阻力增大，即應(yīng)拆下手術(shù)室凈化工程初效空氣過(guò)濾器內(nèi)的無(wú)紡布進(jìn)行清洗或予以調(diào)換。

　　6、替換空氣過(guò)濾器時(shí)，須拆下噴球板，取出過(guò)濾器，按照原有過(guò)濾器的規(guī)格型號(hào)替換新的空氣過(guò)濾器。裝置時(shí)應(yīng)確認(rèn)過(guò)濾器上的箭頭符號(hào)，箭頭應(yīng)指向氣流的方向。并保證密封杰出，避免滲漏。

    在對(duì)潔凈室凈化工程車(chē)間進(jìn)行潔凈度檢測(cè)時(shí)，雖然規(guī)則了空氣的小采樣量，但在實(shí)際工作中，咱們應(yīng)在確保小采樣量條件條件下，依據(jù)已有的檢測(cè)設(shè)備，盡量選用大流量的塵土粒子計(jì)數(shù)器。假如取樣空氣用于計(jì)算大于或等于0.5um的粒徑濃度，假如這些粒子不受非等動(dòng)力條件的影響，則計(jì)算結(jié)果也不受影響。因此，凈化車(chē)間區(qū)域內(nèi)的非等動(dòng)力取樣僅對(duì)大于或等于0.5um粒子才有含義。