氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用

（1）電子行業(yè)，微波發(fā)射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、心臟起博器。

（2）真空行業(yè)，儀器、儀表行業(yè)，管道、接頭、閥門、波紋管、各種真空泵、各類排氣機組、電鏡、質(zhì)譜儀、電子束離子速暴光機、激光軸分離器、鍍膜機、薄膜真空計。

（3）核工業(yè)，鈾分離裝置、存儲裝置、核發(fā)電裝置。

（4）制冷行業(yè)，冰箱、空調(diào)、汽車用空調(diào)、蒸發(fā)器、冷凝器、壓縮機、低溫儲槽。

（5）不銹鋼保溫器皿，真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。

（6）核工業(yè)、航空工業(yè)、航天工業(yè)、船舶工業(yè)、軍事電子六大類。

氦質(zhì)譜檢漏儀的原理

正常運行時，空氣經(jīng)過漏點被吸入凝汽器后被真空泵抽出，排至大氣。試驗時在真空泵入口的空氣管上接一根軟管至氦質(zhì)譜檢漏儀，在真空系統(tǒng)的漏點處噴氦氣，由于氦質(zhì)譜檢漏儀工作時能形成比水環(huán)式真空泵更高的真空，因此，漏入真空泵入口管上氦氣與空氣的混合元體，有一部分被吸入到氦質(zhì)譜檢漏儀，由于氦分子質(zhì)量與其他分子質(zhì)量不一樣，通過磁場產(chǎn)生的偏轉(zhuǎn)磁力不一樣，氦質(zhì)譜檢漏儀上設(shè)計有一狹縫，剛好使氦分子通過而其他分子無法通過，這樣，通過狹縫后的氦分子打在收集板上，通過靶板計數(shù)，即可知道通過的分子數(shù)泄漏量的相對大小。

氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)

氦質(zhì)譜檢漏儀的電氣部分。氦質(zhì)譜檢漏儀除了主機供電部件和主機控制部件外，還有幾組主要電路：

1、離子源電源。為離子源提供加速、聚集、拒斥電壓。

2、發(fā)射電流穩(wěn)定電路。穩(wěn)定和調(diào)節(jié)發(fā)射電流。

3、離子流放大器和單響報警器。將離子流進行放大并將輸出信號送入輸出儀表或顯示器和音響報警器。

4、真空測量電路。一般用熱偶計測量低真空，用冷陰極磁控放電真空計測量高真空。

5、燈絲保護電路。當質(zhì)譜室正常工作壓力被破壞后，立即切斷燈絲供電回路，以保護燈絲。

6、其他電路。不同型號的氦質(zhì)譜檢漏儀所具有的功能不盡相同，所以電路也有不少差別，這在各自的說明書中都有說明。

氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用行業(yè)

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