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磁控濺射鍍膜機
目前認為濺射現(xiàn)象是彈性碰撞的直接結(jié)果,濺射完全是動能的交換過程。當正離子轟擊陰極靶,入射離子當初撞擊靶表面上的原子時,產(chǎn)生彈性碰撞,它直接將其動能傳遞給靶表面上的某個原子或分子,該表面原子獲得動能再向靶內(nèi)部原子傳遞,經(jīng)過一系列的級聯(lián)碰撞過程,當其中某一個原子或分子獲得指向靶表面外的動量,并且具有了克服表面勢壘(結(jié)合能)的能量,它就可以脫離附近其它原子或分子的束縛,逸出靶面而成為濺射原子。濺射鍍膜機濺射鍍技術(shù)優(yōu)點濺射鍍膜機濺射鍍技術(shù)應用蒸發(fā)和磁控濺射兩用立式裝飾鍍膜機,主要適用于塑料、陶瓷、玻璃金屬材料表面鍍制金屬化裝飾膜。
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磁控濺射鍍膜機技術(shù)原理
真空磁控濺射鍍膜技術(shù)是通過真空磁控濺射鍍膜機實現(xiàn)的,鍍膜機內(nèi)由不同級別的真空泵抽氣,在系統(tǒng)內(nèi)營造出一個鍍膜所需的真空環(huán)境,真空度要達到鍍膜所需的本底真空,一般在(1~5)×10-8 Pa。在真空環(huán)境中向靶材(陰極)下充入工藝氣體氣(Ar),氣在外加電場(由直流或交流電源產(chǎn)生)作用下發(fā)生電離生成離子(Ar ),同時在電場E的作用下,離子加速飛向陰極靶并以高能量轟擊靶表面,使靶材產(chǎn)生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子(或分子)沉積在PET基片上形成薄膜。同時被濺射出的二次電子在陰極暗區(qū)被加速,在飛向基片的過程中,落入設定的正交電磁場的電子阱中,直接被磁場的洛倫茲力束縛,使其在磁場B的洛倫茲力作用下,以旋輪線和螺旋線的復合形式在靶表面附近作回旋運動。電子e的運動被電磁場束縛在靠近靶表面的等離子區(qū)域內(nèi),使其到達陽極前的行程大大增長,大大增加碰撞電離幾率,使得該區(qū)域內(nèi)氣體原子的離化率增加,轟擊靶材的高能Ar 離子增多,從而實現(xiàn)了磁控濺射高速沉積的特點。在運用該機理開發(fā)磁控膜的過程中,要注意以下幾個問題:①保證整體工藝中各個環(huán)節(jié)的可靠性。具體包括靶材質(zhì)量、工藝氣體純度、原膜潔凈程度、原膜質(zhì)量等基礎因素,這一系列因素會對鍍膜產(chǎn)品的終質(zhì)量產(chǎn)生影響。②選擇合適的靶材。磁控濺射靶在鍍膜過程中的重要作用???磁控濺射靶是真空磁控濺射鍍膜的核心部件,它的重要作用主要表現(xiàn)在以下兩個方面(1)對于大面積表面的鍍膜,磁控濺射靶影響著膜層的均勻性與重復性。要建立的膜系是通過對陰極的前后順序布置實現(xiàn)的。③控制好各環(huán)節(jié)的工藝性能及參數(shù)。如適合的本底真空度、靶材適用的濺射功率、工藝氣體和反應氣體用量與輸入均勻性、膜層厚度等。總之,只有控制好以上各因素,才能夠保證所開發(fā)的鍍膜PET具有穩(wěn)定的顏色、優(yōu)異的性能和耐久性。
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磁控濺射鍍膜的優(yōu)點
磁控濺射鍍膜是現(xiàn)代工業(yè)中不可缺少的技術(shù)之一,磁控濺射鍍膜技術(shù)正廣泛應用于透明導電膜、光學膜、超硬膜、抗腐蝕膜、磁性膜、增透膜、減反膜以及各種裝飾膜,在國1防和國民經(jīng)濟生產(chǎn)中的作用和地位日益強大。鍍膜工藝中的薄膜厚度均勻性,沉積速率,靶材利用率等方面的問題是實際生產(chǎn)中十分關(guān)注的。3)漸變反射膜漸變反射膜是一種在不同角度觀察,反射的顏色不同的膜層。磁控濺射鍍膜儀廠家?guī)懔私飧啵?
磁控濺射技術(shù)發(fā)展過程中各項技術(shù)的突破一般集中在等離子體的產(chǎn)生以及對等離子體進行的控制等方面。通過對電磁場、溫度場和空間不同種類粒子分布參數(shù)的控制,使膜層質(zhì)量和屬性滿足各行業(yè)的要求。
膜厚均勻性與磁控濺射靶的工作狀態(tài)息息相關(guān),如靶的刻蝕狀態(tài),靶的電磁場設汁等。
濺射鍍膜膜厚均勻性是間接衡量鍍膜工藝的標準之一,它涉及鍍膜過程的各個方面。因此,制備膜厚均勻性好的薄膜需要建立一個濺射鍍膜膜厚均勻性綜合設計系統(tǒng),對濺射鍍膜的各個方面進行分類、歸納和總結(jié),找出其內(nèi)在聯(lián)系。
磁控濺射包括很多種類。各有不同工作原理和應用對象。但有一共同點:利用磁場與電場交互作用,使電子在靶表面附近成螺旋狀運行,從而增大電子撞擊ya氣產(chǎn)生離子的概率。所產(chǎn)生的離子在電場作用下撞向靶面從而濺射出靶材。
用磁控靶源濺射金屬和合金很容易,點火和濺射很方便。這是因為靶(陰極),等離子體,和被濺零件/真空腔體可形成回路。但若濺射絕緣體如陶瓷則回路斷了。
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我國真空鍍膜機行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀和前景分析
創(chuàng)世威納——專業(yè)真空鍍膜機供應商,我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?
真空鍍膜技術(shù)是一種新穎的材料合成與加工的新技術(shù),是表面工程技術(shù)領(lǐng)域的重要組成部分。隨著全球制造業(yè)高速發(fā)展,真空鍍膜技術(shù)應用越來越廣泛。近年來急速鍍膜的復興與發(fā)展已經(jīng)作為人們炙手可熱的一種新興的薄膜制備技術(shù)而活躍在真空鍍膜的技術(shù)領(lǐng)域中。從半導體集成電路、LED、顯示器、觸摸屏、太陽能光伏、化工、制藥等行業(yè)的發(fā)展來看,對真空鍍膜設備、技術(shù)、材料需求都在不斷增加,包括制造大規(guī)模集成電路的電學膜;數(shù)字式縱向與橫向均可磁化的數(shù)據(jù)紀錄儲存膜;充分展示和應用各種光學特性的光學膜;計算機顯示用的感光膜;TFT、PDP平面顯示器上的導電膜和增透膜;建筑、汽車行業(yè)上應用的玻璃鍍膜和裝飾膜;包裝領(lǐng)域用防護膜、阻隔膜;裝飾材料上具有各種功能裝飾效果的功能膜;工、模具表面上應用的耐磨超硬膜;納米材料研究方面的各種功能性薄膜等。