標(biāo)準(zhǔn)氣體的均勻性問題

為了解決標(biāo)準(zhǔn)氣體的均勻性問題，在配制時廳以采取如下措施，促進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)氣體混合均勻。振動或旋轉(zhuǎn)，這是對裝有標(biāo)準(zhǔn)氣體的鋼瓶進(jìn)行旋轉(zhuǎn)或把鋼瓶放倒在地上滾動的方法。（1）先混合后裝氣，在貯氣槽或大容器內(nèi)安裝螺旋槳等攪拌器，用壓力法或其他方法把氣體充入容器中攪拌，使氣體混合均勻。也可以采用微小振動或使鋼瓶上下運動的方法加快鋼瓶內(nèi)的氣體混合均勻。自然擴(kuò)散法，將已配制的鋼瓶標(biāo)準(zhǔn)氣置于適當(dāng)位置，靜止不動，依靠氣體本身的自然擴(kuò)散來達(dá)到混合均勻。但此法的缺點是為達(dá)到均勻狀態(tài)所需要的時間較長，而且因氣體的種類、濃度不同而所需要的時間不同。

在半導(dǎo)體體行業(yè)線寬越做越小，其對氣體純度、顆粒度、雜質(zhì)含量的要求也越來越高。線寬下對超純氮氣的要求，高純氮氣（PN2）：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光（EP）低碳（316L）不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。液態(tài)混合物的潛在危險，除了遵從和氣態(tài)混合物同樣的規(guī)則，還應(yīng)考慮：1、充裝不能超量。（N2）：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光（EP）低碳（316L）不銹鋼管或光亮退火（BA）低碳（316L）不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或球閥。

稀有氣體的特點

稀有氣體(RareGases)：元素周期表后一族的六種惰性氣體中的任何一種氣體, 即氦、氖、氬、氪、氙、氡。種氣體均可以空氣分離方法從空氣中提取。低壓液化氣體(Low P ressu re L iquef ied Gases) ：臨界溫度大于70℃的氣體。根據(jù)氣體圈子2017年統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，政府各部門多次出臺特種氣體鼓勵政策。區(qū)分為不燃無毒和不燃有毒、酸性腐蝕性氣體; 可燃無毒和可燃有毒、酸性腐蝕性氣體; 易分解或聚合的可燃?xì)怏w。此類氣體在充裝時以及在允許的工作溫度下貯運和使用過程中均為液態(tài)。包括的氣體品種有二氟氯甲烷、二氟二氯甲烷、三氟氯、五氟氯、氯、三氯化硼、二氧化硫、二氧化氮、丙烷、丙烯、正丁烷、異丁烷、1- 丁烯、異丁烯、順- 2-丁烯、反- 2- 丁烯、R142b、R 143a、R152a、氨、乙胺、甲硫醇、1, 3—丁二烯。