特種氣體 specialily gas：用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。在半導(dǎo)體制造過程中涉及的材料眾多，在半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)過程中，從芯片生長到后器件的封裝，幾乎每一步、每一個(gè)環(huán)節(jié)都離不開電子特種氣體，因此電子特種氣體被稱為半導(dǎo)體材料的“糧食”和“源”。對特氣的危害性進(jìn)行分析,通過本質(zhì)安全設(shè)計(jì),消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風(fēng)、電氣防爆等進(jìn)行評估。管道設(shè)計(jì)應(yīng)進(jìn)行保壓和氦測漏,確保系統(tǒng)密閉性。

 特種氣體 specialily gas：用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。目前，國內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達(dá)150余家，多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小?？鐕髽I(yè)已經(jīng)在國內(nèi)投資設(shè)立了眾多合資或獨(dú)資的氣體公司，占國內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場份額的70%左右。特種氣體應(yīng)用于國民經(jīng)濟(jì)的很多行業(yè), 它在電子行業(yè)、石油化工、醫(yī)1藥等各領(lǐng)域發(fā)揮著巨大的作用。我國特種氣體經(jīng)過30余年的發(fā)展, 無論在氣體品種上,還是在數(shù)量上, 都以的速度發(fā)展, 生產(chǎn)的品種基本上滿足了市場的需求。

 在半導(dǎo)體制造過程中涉及的材料眾多，在半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)過程中，從芯片生長到后器件的封裝，幾乎每一步、每一個(gè)環(huán)節(jié)都離不開電子特種氣體，因此電子特種氣體被稱為半導(dǎo)體材料的“糧食”和“源”。特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關(guān)、風(fēng)壓事故報(bào)警、、壓力監(jiān)測及報(bào)警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。隨著國產(chǎn)化的推進(jìn)，部分種類的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應(yīng)，占據(jù)市場半壁江山。一些常規(guī)的特氣產(chǎn)品，中國的產(chǎn)能甚至可以滿足全球范圍內(nèi)的需要，但需清醒的看到，從核心競爭力，質(zhì)量管理，品牌效應(yīng)方面來說，我們?nèi)匀惶幱诘退絽^(qū)間。