什么是流量控制器？

質(zhì)量流量計(jì)，即Mass Flow Meter（縮寫為MFM）, 是一種準(zhǔn)確測(cè)量氣體流量的儀表，其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。

質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。由于金屬密封的MFC價(jià)格較高,通常要求不高的場(chǎng)合,均采用橡膠密封的MFC。簡(jiǎn)單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置, 是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。

想了解更多關(guān)于熱式質(zhì)量流量控制器的相關(guān)資訊，請(qǐng)持續(xù)關(guān)注本公司。

流量控制器的原理是什么？

質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。質(zhì)量流量控制器的剖面結(jié)構(gòu)圖見圖1。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)。當(dāng)氣體流速增加，冷卻效應(yīng)越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大, 放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表, 設(shè)定電位器, 外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。氣體質(zhì)量流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。

流量控制器

數(shù)字化質(zhì)量流量控制器的發(fā)展情況如何? 有些什么特點(diǎn)?

數(shù)字化質(zhì)量流量控制器起源于上世紀(jì)八十年代末期, 現(xiàn)在在國(guó)外, 有逐步普及的趨勢(shì)。在國(guó)內(nèi), 2004年中法合資的七星弗洛爾公司已有AFC系列數(shù)字化MFC/MFM批量投產(chǎn)。

數(shù)字化質(zhì)量流量控制器有兩種類型, 一種是數(shù)字模擬兼容產(chǎn)品, 一種是全數(shù)字化產(chǎn)品。數(shù)字模擬兼容類產(chǎn)品采用與模擬流量計(jì)一樣的±15V電源, 輸入輸出信號(hào)除了有模擬的 5VDC信號(hào)外, 還具有RS232/RS485串行通訊口。雖然該定義是一個(gè)物理標(biāo)準(zhǔn)，可能說明不了什么問題，因?yàn)橛嘞碌脑O(shè)定值的36。數(shù)字模擬兼容的MFC當(dāng)設(shè)置為模擬式時(shí), 可以直接替換模擬式MFC, 無需做其它更改。全數(shù)字化類型產(chǎn)品通常采用24VDC單電源, 沒有模擬輸入輸出信號(hào), 只有現(xiàn)場(chǎng)總線通訊信號(hào)。