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充注檢漏氣體前先檢查大漏
在充注檢漏氣體前應(yīng)快速測(cè)試是否存在大漏。否則,從大漏孔中溢出的檢漏氣體將污染試漏區(qū)。大漏孔的簡(jiǎn)易測(cè)試方法是將試件抽空,在短時(shí)間內(nèi)觀察是否保持抽空壓強(qiáng),如試件能保持抽空壓強(qiáng),則表明它不存在任何大漏孔,可充注檢漏氣體。
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氦氣檢漏是怎樣操作呢?
任何儀器在制作過(guò)程中難免會(huì)遇到密封不嚴(yán)的情況,某些不重要的設(shè)備中輕微的泄露沒(méi)有太大關(guān)系,但是在半導(dǎo)體器件、集成電路等重要電氣設(shè)備及儀器中,良好的密封才能決定儀器的正常使用,所以檢漏十分重要!市面上有各種檢漏儀器,常見(jiàn)的載氣有氮?dú)?、氫氣、氦氣等。氦氣檢漏大家想必都聽(tīng)說(shuō)過(guò),那么氦氣檢漏是怎樣的呢?背壓法的缺點(diǎn)是不能進(jìn)行大型密封容器的漏,否則由于密封腔體容積太大,導(dǎo)致加壓時(shí)間太長(zhǎng)。氦氣檢漏是如何操作的呢?
在設(shè)備和廠房當(dāng)中,常常有一些管道等連接的部位,這些地方的封接處可能存在肉眼難以察覺(jué)的細(xì)小孔洞,在使用時(shí)如果不注意就會(huì)導(dǎo)致泄露,從而造成事故。在這 些地方氦氣怎么檢漏?利用氦氣是比氫氣小的第二輕的惰性氣體,氦氣在自然狀態(tài)下會(huì)向上垂直擴(kuò)散,在被檢測(cè)的管道中注入氦氣。氦氣在在半導(dǎo)體中的檢漏作用為了防止半導(dǎo)體器件、集成電路等元器件的表面因玷污水汽等雜質(zhì)而導(dǎo)致性能退化,就必須采用管殼來(lái)密封。如果這些設(shè)備有漏點(diǎn),那么我們就能通過(guò)監(jiān)測(cè)儀器探測(cè)到有氦氣在管道外部。這就是管道中氦氣檢漏的方法。
對(duì)于一些的細(xì)小電子元件,氦氣怎么檢漏呢?將要檢測(cè)的元件放入充滿(mǎn)氦氣的容器中并且加壓。在壓力的作用下,如果這些元件存在漏點(diǎn),必然會(huì)有氦氣通過(guò) 這些小孔進(jìn)入到元件內(nèi)部。此外,在充注或排放中要確保無(wú)氣體溢出,并定期檢查連接件是否有漏。使用壓縮空氣將元件表面的少量殘留氦氣吹掃干凈之后,再利用質(zhì)譜儀檢測(cè)元件表面泄露的氦氣??吹竭@里大家得注意,氦氣的價(jià)格不菲,進(jìn)行一次氦氣檢漏的費(fèi)用自然不低。
氦氣怎么檢漏,氦氣檢漏就是利用了氦氣分子小能夠輕易進(jìn)入那些不被肉眼察覺(jué)的孔縫中,利用監(jiān)測(cè)儀器就能探測(cè)到孔縫中泄露出的氦氣。檢測(cè)時(shí)首先探測(cè)到氦氣的 ,得到氦氣的水含量,再利用色譜儀計(jì)算出氫氣、氧氣、C02氣體等雜質(zhì)。如果在試漏后將檢漏氣體排放在試漏區(qū)內(nèi),那么在整個(gè)工作日內(nèi)本底濃度將不斷地增長(zhǎng)。氦檢漏有兩種工藝,一種是背壓法,另一種則是真空箱法。
氦檢漏步驟
1、抽真空至5Pa以下就可以開(kāi)始檢測(cè)。
2、插上檢漏儀電源,關(guān)閉上部手動(dòng)擋板閥,開(kāi)啟檢漏儀總電源,此時(shí),“放氣”燈亮起,等待系統(tǒng)運(yùn)行
3、當(dāng)”系統(tǒng)正?!奔芭赃叺膬蓚€(gè)燈都顯示為綠色時(shí),觀察預(yù)置參數(shù),應(yīng)為10-15,一般取15,觀察數(shù)值,應(yīng)為10的-8至-9次方時(shí),可以開(kāi)始檢漏(等待幾分鐘)
4、按'檢漏”鍵,緩慢開(kāi)啟頂部手動(dòng)擋板閥,注意:檢漏口的壓強(qiáng)不得超過(guò)10MPa,否則機(jī)器易損壞,
5、 數(shù)值穩(wěn)定后,先記錄下來(lái),這就是. '本底”
6、逐個(gè)將氦氣充入焊縫,并封堵插入口,將數(shù)值變動(dòng)記錄下來(lái)。全部完成充氦后再觀察20分鐘,看數(shù)值有無(wú)大的變動(dòng)。
7、關(guān)機(jī)時(shí),應(yīng)先關(guān)閉上部手動(dòng)擋板閥,然后開(kāi)啟放氣鍵,后關(guān)電源。