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高溫爐操作規(guī)程
1 準(zhǔn)備工作a,檢查電源線接觸是否良好b,檢查連接線是否正常c,檢查冷卻水是否正常d,檢查密封性是否正常e, 準(zhǔn)備所需工具:無塵紙、無水酒精、帆布手套、作業(yè)手套、口罩、耐高溫手套、石墨推車、不銹鋼托盤2 開爐a,打開主電源開關(guān)b, 向爐體充ya氣至大氣壓,打開爐體前門,取下石墨蓋板c, 將輸送車開關(guān)打至 OUTd, 清爐 清理爐膛內(nèi)壁、石墨件及保溫材料上的污物3裝料a,將石墨坩堝放置于輸送車平臺上,使用限位桿確定其位置,依次裝入硅料。b、拔出限位桿,輸送車開關(guān)打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,將坩堝裝入爐膛內(nèi),并確定輸送車會到初始位置。c、裝入石墨蓋板,擰緊石墨螺栓,關(guān)緊爐門4 抽氣a、檢查爐門是否關(guān)緊,真空系統(tǒng)是否密封b、置 DP 按鈕于 DP ON,打開干式真空泵,打開真空計開關(guān) P1G1,打開干式真空泵 。閥門,開始抽氣測試泄漏率,c、當(dāng)壓力表指示為 50Pa是關(guān)閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1Pa/min,打開ya氣閥門充ya氣(20L/min)。上海韻通測試儀器有限公司是研制、開發(fā)、生產(chǎn)氣氛爐、高溫爐、管式爐、真空爐、特種爐的專業(yè)廠家。加熱 先打開水環(huán)泵 再按 RUN,開始工藝加熱。冷卻a、加熱結(jié)束后,按工藝條件進(jìn)行冷卻。
高溫爐采用1500陶瓷纖維板,硅碳棒上下水平加熱。 爐殼采用雙層結(jié)構(gòu),可將外界溫度降至常溫,使內(nèi)腔溫度分布均勻。 輸入線路在電爐背面有一個特殊的安全接線盒。 電源開關(guān)位于電爐的右側(cè)。 它易于操作。 電氣面板上有可編程控制儀表(40段程序)(日本島表),電流表,旋鈕開關(guān),聲音報警。 電氣部分采用與爐體一體的結(jié)構(gòu),整個電氣元件安裝在爐體底部的一側(cè),結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間小。電氣面板上有可編程控制儀表(40段程序)(日本島表),電流表,旋鈕開關(guān),聲音報警。 溫度控制裝置安裝在爐體的側(cè)板上。 觀察直觀且易于調(diào)整。 溫度控制器具有專家PID調(diào)節(jié)功能,可自動跟蹤和設(shè)置PID值。 測量索引密碼可以任意設(shè)定,補(bǔ)償功能可以用來制作爐子。 溫度與顯示值一致。
高溫爐洗爐步驟: 1.使用保護(hù)氣體驅(qū)除爐內(nèi)空氣: (1)在電爐預(yù)熱之前,一般應(yīng)將保護(hù)氣體引入爐內(nèi); (2)保護(hù)氣體可以通過上,下和后洗滌爐口。 排氣口的針閥應(yīng)打開大尺寸,以便盡快的排出爐內(nèi)空氣; (3)通常,將約10倍體積爐的保護(hù)氣體引入爐內(nèi),使?fàn)t內(nèi)的氧濃度降至約10ppm; (4)當(dāng)爐內(nèi)氧氣濃度滿足產(chǎn)品工藝要求時,可關(guān)閉排氣口針閥,節(jié)約保護(hù)氣體,關(guān)閉爐口,進(jìn)氣口用于通過流量計進(jìn)入 ; (5)在使用電爐的過程中,須在爐內(nèi)保持正壓,以防止外部空氣進(jìn)入爐內(nèi)。在受控高溫爐的受控氣氛中,電熱元件應(yīng)提供高滲碳材料或抗?jié)B碳涂層,低壓電源應(yīng)盡量避免引起滲碳短路損壞或爐壁碳沉積。
2.真空泵預(yù)真空方式: (1)將任何一個出風(fēng)口連接到真空軟管; (2)預(yù)先清空爐腔; (3)獲得保護(hù)氣體; (4)對爐腔進(jìn)行預(yù)真空。