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選擇真空泵注意事項(xiàng):
1、真空泵排出來(lái)的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無(wú)油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。
2、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg,能達(dá)到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。
在粉塵較多的真空工藝如何選擇真空泵,才能讓真空泵既能夠滿足工藝要求,同時(shí)又能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定的運(yùn)行,延長(zhǎng)真空泵維修維保時(shí)間,節(jié)約運(yùn)行成本,保證生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)效率,保證設(shè)備產(chǎn)能。
在CVD、PECVD、ALD等工藝中,真空腔體會(huì)通入各種各樣的工藝氣體來(lái)完成產(chǎn)品表面薄膜工藝,這些工藝氣體在反應(yīng)過(guò)程中有時(shí)會(huì)大量粉塵或容易結(jié)晶,如果粉塵和結(jié)晶物不能及時(shí)排除真空泵外,就容易在真空泵內(nèi)沉積,堆積到一定量時(shí)就會(huì)造成真空泵葉輪、轉(zhuǎn)子等卡滯,需要及時(shí)下機(jī)保養(yǎng)和維護(hù),否則的話就會(huì)造成真空泵的更大的損壞,但是干式泵的維護(hù)成本又比較昂貴,選擇一臺(tái)耐粉塵,維保周期長(zhǎng)的真空泵是非常重要的。
無(wú)油節(jié)能真空泵
真空泵普通是用來(lái)抽真空的,但是并不是一切的場(chǎng)所均請(qǐng)求真空度越低越好,而有的場(chǎng)所是請(qǐng)求控制在某一需求的真空度范圍內(nèi)
比常規(guī)真空泵節(jié)能30%-70%,可靠是節(jié)能環(huán)保型產(chǎn)品。應(yīng)用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的辦法對(duì)被抽容器停止抽氣而取得真空的器件或設(shè)備,普遍用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。
目前市場(chǎng)需求開(kāi)發(fā)的多用途真空系統(tǒng),具有,環(huán)保節(jié)能,噪聲低的顯著特點(diǎn),是電子、醫(yī)院、印刷、半導(dǎo)體、汽車、太陽(yáng)能、食品、吸塑包裝等行業(yè)理想的真空獲得設(shè)備。一體式真空系統(tǒng),該系統(tǒng)具有可擴(kuò)充,,易于維護(hù),噪聲低,占地面積小等顯著特點(diǎn)。由于離心力作用,旋片緊貼在缸壁,新型無(wú)油節(jié)能真空泵報(bào)價(jià),把定子進(jìn)排出口分離開(kāi)來(lái),周而復(fù)始運(yùn)轉(zhuǎn),進(jìn)行變?nèi)荩瑢⑽霘怏w,從排氣口排出,從而達(dá)到抽氣目的。