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隨著全球制造業(yè)高速發(fā)展,真空鍍膜技術(shù)應(yīng)用越來越廣泛。觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達250以后,關(guān)予抽,開前機和高閥繼續(xù)抽真空,抽真空到達一定程度后才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度。從半導體集成電路、LED、顯示器、觸摸屏、太陽能光伏、化工、制藥等行業(yè)的發(fā)展來看,對真空鍍膜設(shè)備、技術(shù)、材料需求都在不斷增加,包括制造大規(guī)模集成電路的電學膜;數(shù)字式縱向與橫向均可磁化的數(shù)據(jù)紀錄儲存膜;充分展示和應(yīng)用各種光學特性的光學膜;計算機顯示用的感光膜;TFT、PDP平面顯示器上的導電膜和增透膜;建筑、汽車行業(yè)上應(yīng)用的玻璃鍍膜和裝飾膜;包裝領(lǐng)域用防護膜、阻隔膜;裝飾材料上具有各種功能裝飾效果的功能膜;工、模具表面上應(yīng)用的耐磨超硬膜;納米材料研究方面的各種功能性薄膜等。
真空電鍍設(shè)備膜厚的不均勻問題
無論監(jiān)控儀精度怎樣,它也只能控制真空室里單點位置的膜厚,一般來講是工件架的中間位置。3、依托政府支持,大力加強與擁有行業(yè)先進技術(shù)和工藝水平的科研院所、大型企業(yè)、高校合作,使得新品能迅速推向市場。如果真空電鍍設(shè)備此位置的膜厚不是均勻的,那么遠離中心位置的基片就無法得到均勻的厚度。雖然屏蔽罩能消除表現(xiàn)為長期的不均勻性,但有些膜厚度的變化是由蒸發(fā)源的不穩(wěn)定或膜材的不同表現(xiàn)而引起的,所以幾乎是不可能消除的,但對真空室的結(jié)構(gòu)和蒸發(fā)源的恰當選擇可以使這些影響化。
在過去幾年中,越來越多的用戶要求鍍膜系統(tǒng)制造廠家提供高性能的小規(guī)格、簡便型光學鍍膜系統(tǒng),同時,用戶對性能的要求不僅沒有降低,反而有所提高,特別是在薄膜密度和保證吸水后光譜變化小化等方面。
現(xiàn)在,系統(tǒng)的平均尺寸規(guī)格已經(jīng)在降低,而應(yīng)用小規(guī)格設(shè)備進行光學鍍膜的生產(chǎn)也已經(jīng)轉(zhuǎn)變成為純技術(shù)問題。隨著工業(yè)技術(shù)的不斷發(fā)展,對材料的綜合性能要求也不斷提高,單一材料性能已不能滿足某些特定環(huán)境下工作機械的性能要求。因此,選用現(xiàn)代化光學鍍膜系統(tǒng)的關(guān)鍵取決于對以下因素的認真考慮:對鍍膜產(chǎn)品的預期性能,基片的尺寸大小和物理特性以及保證高度一致性工藝所必需的所有技術(shù)因素。
真空鍍膜機-操作步驟
一、電控柜的操作;
開維持泵、真空計電源,真空計檔位置V1位置,等待其值小于10后,再進入下一步操作。約需5分鐘。 開機械泵、予抽,開渦輪分子泵電源、啟動,真空計開關(guān)換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。
觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達250以后,關(guān)予抽,開前機和高閥繼續(xù)抽真空,抽真空到達一定程度后才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度。真空到達2×10-3以后才能開電子槍電源。