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磁控濺射真空鍍膜機(jī)運(yùn)作就是通過真空狀態(tài)下正交磁場是電子轟擊亞氣形成的亞離子再轟擊靶材,靶材離子沉積于工件表面成膜。
真空狀態(tài)就需要抽氣系統(tǒng)來進(jìn)行控制,每個(gè)抽氣口都要同時(shí)開動(dòng)并力度一致,這樣就能控制好抽氣的均勻性,如果抽氣不均勻,在真空室內(nèi)的壓強(qiáng)就不能均勻了,壓強(qiáng)對(duì)離子的運(yùn)動(dòng)是存在一定的影響的。另外抽氣的時(shí)間也要控制,太短會(huì)造成真空度不夠,但太長又浪費(fèi)資源,不過有真空計(jì)的存在,要控制好還是不成問題的。
真空電鍍設(shè)備對(duì)鍍件與鍍膜層有良好的接觸性能與較高的結(jié)合力,真空電鍍設(shè)備熱膨脹系數(shù)相差小,不起反應(yīng),流平性能好。
真空電鍍設(shè)備具有良好的真空性能。底涂層固化后放氣量少、熱應(yīng)力小、耐熱性能好。真空電鍍設(shè)備成膜性能好,真空電鍍設(shè)備涂層的致密度、覆蓋能力、抗溶劑能力與耐光照能力等性能良好。真空電鍍設(shè)備與面涂層有良好的相溶性。真空電鍍設(shè)備由于鍍膜層極薄有孔隙,要求底涂層和面涂層的溶劑和稀釋劑有良好的相溶性。
真空電鍍設(shè)備施涂性能良好。真空電鍍設(shè)備流平性能良好,有適當(dāng)?shù)酿ざ?、固化時(shí)間短。真空電鍍設(shè)備與鍍膜層要有良好的接觸性能;真空電鍍設(shè)備與底涂層要有一定的相溶性;真空電鍍設(shè)備成膜性能與施涂性能優(yōu)良;真空電鍍設(shè)備具有適當(dāng)?shù)臋C(jī)械強(qiáng)度;真空電鍍設(shè)備防潮、抗溶劑、耐真空電鍍設(shè)備腐蝕性能好??估匣阅軓?qiáng)。