山東博山真空泵廠有限公司，位于山東省淄博市博山區(qū)，是真空泵的專業(yè)生產(chǎn)廠家。目前已有2XZ，2XZ-B，XZ系列旋片式真空泵及SHZ系列水環(huán)式真空泵等產(chǎn)品，廣泛運(yùn)用于電子元件器件制造、藥品分析儀器、制冷等行業(yè)，其中2XZ-B系列主要作為配套單晶爐副泵使用，具有體積小、重量輕、噪音低、啟動方便、不反油等特點(diǎn)。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時(shí)就必須防止它們在真空泵內(nèi)或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。

真空泵的保養(yǎng)：經(jīng)常檢查油位位置，不符合規(guī)定時(shí)須調(diào)整使之符合要求。以真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，油位到油標(biāo)中心為準(zhǔn)。經(jīng)常檢查油質(zhì)情況，發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時(shí)更換新油，確保真空泵工作正常。換油期限按實(shí)際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。一般新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時(shí)，建議在工作100小時(shí)左右換油一次。山東博山真空泵廠有限公司我公司是專業(yè)生產(chǎn)真空泵及真空機(jī)組的骨干企業(yè)。待油中看不到黑色金屬粉末后，以后可適當(dāng)延長換油期限。

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山東博山真空泵廠有限公司(原山東博山真空泵廠)是真空泵行業(yè)首批獲得煤礦安全標(biāo)志證書的單位之一，是中國真空協(xié)會團(tuán)體會員單位，本公司技術(shù)力量雄厚、設(shè)備精良、產(chǎn)品采用CAD輔助設(shè)計(jì)、機(jī)械加工采用數(shù)控設(shè)備。　　公司設(shè)區(qū)級真空研究所和博山區(qū)技術(shù)監(jiān)督局在我公司設(shè)立的真空泵檢測中心。運(yùn)轉(zhuǎn)五分鐘后，停機(jī)檢查風(fēng)機(jī)是否有異?，F(xiàn)象，確認(rèn)無異?，F(xiàn)象再開機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)。

考慮到對水環(huán)真空泵進(jìn)行加固比較困難，采取在出口鋼管焊接“加強(qiáng)筋”的辦法。沿進(jìn)出水方向，在真空泵出口漸擴(kuò)管與出水閥門之間的連接鋼管兩端法蘭，用8條厚度為32毫米、寬度為100毫米的鋼板進(jìn)行焊接。增加鋼管的剛度，減少變形量，抵抗位移。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時(shí)，需要用氮?dú)庵惖亩栊詺怏w，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時(shí)條件下的安全范圍。經(jīng)測量，加筋后，水環(huán)真空泵A點(diǎn)的位移量降至0.35毫米。

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常見的用法是：將手動泵安裝在水環(huán)真空泵的抽氣孔上或靠近水泵的進(jìn)水管路上，進(jìn)行抽氣引水，使之成為水環(huán)真空泵開機(jī)時(shí)充水的工具，從而省掉了水泵進(jìn)水管路上的底閥，減少了能量損耗，提高了水泵裝置的效率。

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