半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。高純氙氣氙氣廠家分享氣體使用時(shí)所能接觸的材料，不能有和此種氣體不相容或起反應(yīng)的材料。按其門(mén)類可分為純氣，高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。電子氣體按純度等級(jí)和使用場(chǎng)合，可分為電子級(jí)，LSI（大規(guī)模集成電路）級(jí)，VLSI（超大規(guī)模集成電路)級(jí)和ULSI(特大規(guī)模集成電路）級(jí)。    

           近幾年來(lái)，智研數(shù)據(jù)研究中心隨著我國(guó)超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場(chǎng)需求量明顯增長(zhǎng)，電子特種氣體的國(guó)產(chǎn)化已是大勢(shì)所趨。在離子室里存在著正電極和負(fù)電極，就可以產(chǎn)生電場(chǎng)，當(dāng)被測(cè)的氣體在紫外燈的照射下的時(shí)候，就會(huì)被離子化，然后形成正離子和負(fù)離子，這個(gè)時(shí)候在電極之間就可以產(chǎn)生電流，接著通過(guò)放大輸出信號(hào)。據(jù)了解，我國(guó)在國(guó)產(chǎn)化方面取得可喜進(jìn)展：國(guó)產(chǎn)高純氨改變了國(guó)外氣體公司壟斷市場(chǎng)的格局，高純四氟化碳“有價(jià)無(wú)貨”時(shí)代也宣告結(jié)束，高純已成功打開(kāi)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)。

電子氣體主要包括：、、乙、化氫、硒化氫、、四氟化碳、化三氫、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化鎢、六氟化硫、、磷烷、、、氣、氨氣、電子級(jí)等.

其中六氟化硫、電子級(jí)、、磷烷使用較多。

氙氣,氣,氮?dú)馐且环N非常重要的氣體，它的應(yīng)用廣泛。第二：用于氣體的估量，它通常含有較少的有關(guān)組分，在已知濃度水平時(shí)，允許將分析裝置校準(zhǔn)到與這個(gè)濃度值一致。食品的儲(chǔ)存和運(yùn)輸需要用到大量的氮?dú)?，?lái)防止食物變質(zhì)另一方面，由于氮?dú)獾牧己眯再|(zhì)，在焊接、機(jī)械設(shè)備和油田開(kāi)采中有著重要的應(yīng)用價(jià)值。可以說(shuō)，氮?dú)獾挠猛竞軓V泛，幾乎處處可見(jiàn)。  氮?dú)猓∟2）是一種無(wú)色、無(wú)味、無(wú)臭的惰性氣體，密度為1.2506kg/m3，熔點(diǎn)為-209.86℃，沸點(diǎn)為-195.8攝氏度，稍溶于水和乙醇，化學(xué)性質(zhì)不活躍，在一個(gè)大氣壓下的冷卻和冷凍整個(gè)過(guò)程中吸收的總能量為382kJ/kg。人在氮?dú)庵凶鳂I(yè)時(shí)，應(yīng)該防止窒息致死。

特種氣體可能存在窒息性、腐蝕性、毒性、性等危險(xiǎn)，其危害性被不同國(guó)家區(qū)域和不同的工業(yè)組織進(jìn)行了詳細(xì)的危險(xiǎn)等級(jí)分類。

對(duì)于一個(gè)大規(guī)模生產(chǎn)的電子廠，其儲(chǔ)存和使用的特種氣體數(shù)量之多，可以毫不夸張的被視為擁有“大規(guī)模殺傷性”庫(kù)。

任何設(shè)計(jì)、施工、日常運(yùn)作中存在的安全隱患都會(huì)對(duì)工廠、人員和環(huán)境帶來(lái)巨大的災(zāi)難，如何保證特種氣體的安全儲(chǔ)存和使用是每一個(gè)生產(chǎn)和使用企業(yè)越來(lái)越重視的問(wèn)題。 高純氙氣  工業(yè)體