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耐一定的高溫:不透性石墨使用溫度取決于浸漬材料的品種,如酚醛浸漬石墨可耐170-200℃,如果添加適量的有機(jī)硅樹(shù)脂浸漬石墨,則可耐至350℃;當(dāng)磷酸沉積在碳和石墨上時(shí),可以提高碳和石墨的扛氧化性能,實(shí)際操作溫度還可以再提高一些。
優(yōu)異的熱傳導(dǎo)性能另外,石墨還具有良好的熱傳導(dǎo)性能,是非金屬材料中導(dǎo)熱性能高于金屬的材料,居于非金屬材料之首。導(dǎo)熱率是碳鋼的2倍,不銹鋼的7倍。因此適合應(yīng)用于傳熱設(shè)備。
正常的鍍舟可以滿足工藝正常生產(chǎn)需要,鍍舟不足會(huì)造成生產(chǎn)時(shí)工藝的化學(xué)反應(yīng)被石舟吸收造成硅片鍍膜不良,形成四周紅片。假如鍍舟過(guò)度,“吃的太飽”就容易造成硅片的四周發(fā)白。
因?yàn)槲覀兊闹燮晴U空的,硅片的四周是同舟片相接觸的,從而造成四周的生長(zhǎng)速率加快,形成片子四周發(fā)白(偏白)此點(diǎn)建議從鍍舟工藝上調(diào)整。
如果正常生產(chǎn)到一定次數(shù)偏白請(qǐng)及時(shí)調(diào)整工藝。紅片加時(shí)間,白片減時(shí)間。
其它原因:具體情況待交流分析