主要用途：

六氟化硫（SF6）常態(tài)下是一種無色、無味、無嗅、無l毒的非燃燒性氣體，分子量146.06，密度6.139g/l，約為空氣的5倍。是已知化學(xué)安定性l好的物質(zhì)之一，其惰性與氮氣相似。它具有極1好的熱穩(wěn)定性，純態(tài)下即使在500℃以上也不分解。

六氟化硫具有的電絕緣性和滅弧特性，相同條件下，其絕緣能力為空氣、氮氣的2.5倍以上，滅弧能力為空氣的100倍。六氟化硫的熔點為－50.8℃，可作為－45－0℃溫度范圍內(nèi)的特殊制冷劑，又因其耐熱性好，是一種穩(wěn)定的高溫?zé)彷d體。12、使用氫氧火焰，閥門操作順序為：點火時，先開氫氣閥，點燃后，開氧氣閥。六氟化硫因上述及其它優(yōu)良特性，近年來被廣泛用于電力、電子、電氣行業(yè)和激光、醫(yī)l療、氣象、制冷、消防、化工、軍事、宇航、有色冶金、物理研究等。

1.管道材料特性

對輸送高純氣體管道而言，其影響氣體質(zhì)量的管道材料主要特性是氣體滲透性、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蝕性。

2.氣體滲透性

氣體從壓力（或分壓力）高的一側(cè)透過材料向壓力（或分壓力）低的一側(cè)流入的現(xiàn)象成為氣體滲透。因為空氣中氧氣和氮氣分壓力l大、氣體分子相對較小，管道材料對氣體的滲透性主要表現(xiàn)氧氣和氮氣的滲透，一般對氧氣的滲透測試比較多。8、使用氫氣前，必須對設(shè)備、管道、閥門等連接點泄露進行認(rèn)真仔細(xì)的檢查。不同材料對氧的滲透性材料大氣中氧氣的滲透（ppm）不銹鋼管 O銅管 O聚管 1l聚四氟乙烯管 12普通鋼管 203 從表看到，對于輸送ppm級及更高純度要求的氣體，從氣體滲透角度必須選用不銹鋼管或者鋼管，如果我們不恰當(dāng)?shù)剡x用了不符合要求的管道材料，那么，無論我們采取什么凈化手段，都將是無濟于事的。

三氟化氮主要用途是用作氟化l氫－氟化氣高能化學(xué)激光器的氟源，在h2-O2 與F2之間反應(yīng)能的有效部分（約25%）可以以激光輻射釋放出，所 HF-OF激光器是化學(xué)激光器中有希望的激光器。三氟化氮是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，對硅和氮化硅蝕刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳與氧氣的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對表面無污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成電路材料的蝕刻中，三氟化氮具有非常優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性，在被蝕刻物表面不留任何殘留物，同時也是非常良好的清洗劑。由于純氧的燃燒，氧氣高爐的燃燒效率更高，因此氧氣高爐能夠在更高的粉煤率和更低的焦比下運作。隨著納米技術(shù)的發(fā)展和電子工業(yè)大規(guī)模的發(fā)展技術(shù)，它的需求量將日益增加。