流量控制器基本原理

通過測量氣體流經(jīng)流量器內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內有兩個熱阻元件，其中一個作為溫度檢測，另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。若在其進口端裝一塊或二快多孔板式流動調整器（整流器）后，則其長度可大為縮短。當氣體流速增加，冷卻效應越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質量流量，即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數(shù)關系來反映氣體的流量。

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流量控制器在高壓條件下如何使用?

質量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點: 一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二, 是要挑選工作壓差范圍大的產品型號;  三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩(wěn)定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩(wěn)定反應室和MFC出口的氣壓, 適當調節(jié)減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會超過規(guī)定的范圍。除正常安裝要求外，要特別注意減少振動影響，因為質量流量控制器是基于振動原理工作的，外加振動會引入干擾。只要做到以上三點,  MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。

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質量流量控制器主要參數(shù)

質量流量精度： ±0.002×流量±零點漂移

密度測量精度： ±0.003g／cm3

密度測量范圍： 0.5~1.5g／cm3

溫度測量范圍： ±1°C

傳感器相關數(shù)據(jù)：

環(huán)境溫度： －40~60°C

介質溫度： －50~200°C

防爆類型： iBⅡBT3

關聯(lián)設備： 配套變送器

(3) 變送器相關數(shù)據(jù)：

工作溫度： 0~60°C

相對濕度： 95%以下

電 源： 220±10%VAC,50Hz或24±5%VDC,40W