真空應(yīng)用設(shè)備種類繁多，但無論何種真空應(yīng)用設(shè)備都有一套排除被抽容器內(nèi)氣體的抽氣系統(tǒng)，以便在真空容器內(nèi)獲得所需要的真空條件。舉例說明：一個(gè)真空處理用的容器，用管道和閥門將它與真空泵連接起來，當(dāng)真空泵對(duì)容器進(jìn)行抽空時(shí)，容器上面有真儂測(cè)量裝置，這就構(gòu)成了一個(gè)真空抽氣系統(tǒng)。真空泵的噪聲，通常指泵在溫度穩(wěn)定時(shí)，在極限真空下測(cè)得的噪聲級(jí)。

真空泵正常工作中，嚴(yán)禁完全關(guān)閉進(jìn)、排氣口閥門，應(yīng)注意定期觀察壓力情況，超負(fù)荷時(shí)安全閥是否動(dòng)作排氣，否則應(yīng)及時(shí)調(diào)整安全閥，不準(zhǔn)超負(fù)荷運(yùn)行。對(duì)真空泵要做它的定期檢測(cè)工作。離子檢漏法與電離真空計(jì)檢漏法類似，是利用示漏氣體進(jìn)入真空泵時(shí)，泵電流將發(fā)生變化的特性進(jìn)行工作的，根據(jù)這種變化，可檢測(cè)出真空系統(tǒng)的漏孔，并可估算漏孔的大小。該真空系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由先進(jìn)的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過編程后組成,以觸摸屏為人機(jī)界面,實(shí)現(xiàn)對(duì)真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設(shè)定和執(zhí)行、報(bào)警保護(hù)系統(tǒng)等的全自動(dòng)化控制。

　在使用帶有真空泵的抽氣系統(tǒng)，或把被檢件接到真空泵抽氣系統(tǒng)上去時(shí)，人們可以在任何時(shí)間、在壓力低于10-2 Pa的條件下，對(duì)系統(tǒng)或被檢件進(jìn)行檢漏。這種檢漏方法無須額外儀器，既靈敏又簡(jiǎn)便。其示漏氣體可選用氧、、氫等?！　∈紫葘⒄婵毡贸榭?，抽到較低壓力后關(guān)閉閥門，使泵保持在較低壓力下工作。真空泵在寒冬季節(jié)使用時(shí)，停車后，需將泵體下部放水螺塞擰開將介質(zhì)放凈。接入被檢件，用前置泵排氣，當(dāng)真空度達(dá)到1-10-1 Pa時(shí)，關(guān)閉一閥門并打開另一閥門，用真空泵抽氣。

　不同真空泵的真空系統(tǒng)要求的真空度不同。因此往往必須由一套真空機(jī)組來完成，即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來。高真空一側(cè)的真空泵能達(dá)到系統(tǒng)要求的真空度，而低真空一側(cè)的真空泵是直排大氣的。顯然簡(jiǎn)單的真空機(jī)組就是一臺(tái)直排大氣的真空泵。真空應(yīng)用設(shè)備種類繁多，但無論何種真空應(yīng)用設(shè)備都有一套排除被抽容器內(nèi)氣體的抽氣系統(tǒng)，以便在真空容器內(nèi)獲得所需要的真空條件。但高真空系統(tǒng)一般需要三級(jí)機(jī)組，中真空一般需要二級(jí)機(jī)組。

真空泵選擇要分析判定被抽物體的成分：　　1.被抽物體是氣體、液體還是顆粒，如果被抽氣體中含有水汽或少量顆粒性和粉塵等雜質(zhì)，慎選旋片式真空泵，如果真空度要求較高，則應(yīng)加過濾裝置加以過濾方能使用旋片式真空泵做真空設(shè)備。

真空泵脫胎于壓縮機(jī)與螺桿液體輸送泵，是容積式真空泵中一種較為理想的干式真空泵。它能提供清潔無油的真空環(huán)境，并且對(duì)腐蝕性氣體、可凝性蒸氣、含粉塵顆粒氣體有較強(qiáng)適應(yīng)性，因此在電子半導(dǎo)體、制藥、石化等一些對(duì)清潔真空環(huán)境要求嚴(yán)格、氣體成分復(fù)雜的行業(yè)領(lǐng)域，螺桿式真空泵備受青睞，逐漸成為傳統(tǒng)油封機(jī)械泵、液環(huán)泵的換代產(chǎn)品。取出軸封體和密封部分，將機(jī)械密封的靜環(huán)取出，填料密封的卸下填料蓋取出填料即可?！　?

真空泵通過一對(duì)非對(duì)稱螺桿轉(zhuǎn)子的相向運(yùn)動(dòng)，來周期性改變齒間容積實(shí)現(xiàn)輸送氣體，達(dá)到抽氣的目的。